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產(chǎn)品列表
  • ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍 EGL-103S型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實(shí)際成果，為提高性能和可靠性而開發(fā)。 擁有*大輸入功率6kW的直動型3點(diǎn)切換式蒸發(fā)舟。 坩堝容量為10cc3個，適用于超高真空的實(shí)驗(yàn)、小規(guī)模生產(chǎn)。 查看詳情
  • ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍 EGN系列是以提高可維護(hù)性為主軸新開發(fā)的金屬蒸發(fā)用EB槍。 采用平頂結(jié)構(gòu)，減少了EB槍的著膜面積，實(shí)現(xiàn)了易維護(hù)性。 查看詳情
  • ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍 EGN系列是以提高可維護(hù)性為主軸新開發(fā)的金屬蒸發(fā)用EB槍。 采用平頂結(jié)構(gòu)，減少了EB槍的著膜面積，實(shí)現(xiàn)了易維護(hù)性。 查看詳情
  • ULVAC愛發(fā)科RF電源選配件 該裝置是高頻電源的外部振蕩源 。額定信號可以在13.56MHz的單頻下輸出。 另外，本裝置還配備了1～4個BNC輸出端口，*多可同步4臺電源進(jìn)行同相的高頻振蕩。 ※ 連接電源外部輸入端子應(yīng)為50Ω，10mW以上100mW以下即可工作。 查看詳情
  • ULVAC愛發(fā)科RF電源選配件 該系統(tǒng)是為射頻濺射、等離子體CVD、刻蝕等等離子產(chǎn)生用電源的相位調(diào)整而設(shè)計的。 本系統(tǒng)可控制在13.56MHz運(yùn)行的多臺RF電源的輸出相位 。 查看詳情
  • ULVAC愛發(fā)科RF電源選配件 該系統(tǒng)是為射頻濺射、等離子體CVD、刻蝕等等離子產(chǎn)生用電源的相位調(diào)整而設(shè)計的。 本系統(tǒng)可控制在13.56MHz運(yùn)行的多臺RF電源的輸出相位 。 查看詳情
  • ULVAC愛發(fā)科RF電源選配件 EXN系列是陰極切換器，可用于將電源供應(yīng)切換到多個直流濺射電極和射頻濺射電極，或?qū)⒍鄠€直流電源或射頻電源的輸出切換到一個電極。 查看詳情
  • ULVAC愛發(fā)科RF電源選配件 RF濺射、等離子CVD、蝕刻等工藝中，產(chǎn)生等離子用電源的匹配箱用切換機(jī)。 查看詳情
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