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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科RF電源選配件

  • 產(chǎn)品型號(hào)：MEX2N-1k
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
RF濺射、等離子CVD、蝕刻等工藝中，產(chǎn)生等離子用電源的匹配箱用切換機(jī)。
詳情介紹：
RF濺射、等離子CVD、蝕刻等工藝中，產(chǎn)生等離子用電源的匹配箱用切換機(jī)。

特點(diǎn)

  • 可以切換多個(gè)匹配器。
  • 可以在不同時(shí)放電時(shí)使用，設(shè)備中安裝的電源的數(shù)量減少，有助于降低設(shè)備的成本。
  • 每個(gè)陰極都有一個(gè)匹配器，因此可以選擇具有不同阻抗的陰極。

規(guī)格

容量帯 匹配器切換臺(tái)數(shù)
２臺(tái) ３臺(tái) ４臺(tái) ５臺(tái) ６臺(tái) ７臺(tái) ８臺(tái)
500, 1kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k
3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k
5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k - - - -
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