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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

  • 產(chǎn)品型號(hào)：EGL-103S
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
EGL-103S型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實(shí)際成果，為提高性能和可靠性而開發(fā)。 擁有*大輸入功率6kW的直動(dòng)型3點(diǎn)切換式蒸發(fā)舟。 坩堝容量為10cc3個(gè)，適用于超高真空的實(shí)驗(yàn)、小規(guī)模生產(chǎn)。
詳情介紹：
EGL-103S型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實(shí)際成果，為提高性能和可靠性而開發(fā)。
擁有*大輸入功率6kW的直動(dòng)型3點(diǎn)切換式蒸發(fā)舟。
坩堝容量為10cc3個(gè)，適用于超高真空的實(shí)驗(yàn)、小規(guī)模生產(chǎn)。

特點(diǎn)

  • 采用直接作用型的10cc三點(diǎn)切換坩堝，適用于超高真空的小規(guī)模生產(chǎn)。
  • 由于電子束被電磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn)，二次電子對(duì)成膜體的影響非常小。
  • 即使是升華材料，掃描X軸和Y軸上的束斑也可以消除點(diǎn)蝕現(xiàn)象并可以順利蒸發(fā)。（日本**831485號(hào).843447號(hào)）
  • 電子束270°偏轉(zhuǎn)，燈絲不會(huì)從蒸發(fā)材料暴露，因此壽命很長(zhǎng)。
  • 發(fā)射器組件易于拆開，更換燈絲，絕緣體等非常容易。

規(guī)格

加速電壓 -4kV～-10kV
電子束電流 0.6Amax (at-10kV)
*大輸入功率 6kW (-10kV, 0.6A)
X軸偏轉(zhuǎn)線圈 0.4～3.5A -18VDCmax
2.8Ω（20℃）
Y軸偏轉(zhuǎn)線圈 0～±1.2A ±12VDCmax
0.9Ω（20℃）
燈絲 0～6VAC 50Amax
坩堝 容量 10cc
尺寸 35Φ×31Φ×11H
電子束偏向角度 270°
有效蒸發(fā)角度 90°以上
冷卻水量 坩堝 10L/min 7kg/cm2G（*大圧力）
坩堝蓋板 2L/min 7kg/cm2G（*大圧力）
水溫 15℃～25℃
外形尺寸 313W (MAX)×108H×250D
重量 約16kg
適用電源 HPS-1000N, HPS-1600F
備注 建議使用電阻率為5kΩ·cm或更高的冷卻水。
*大30 x 30 mm
烘烤溫度*高為120℃，但要保持冷卻水流經(jīng)爐膛和爐膛甲板
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