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- COSMO科斯莫檢漏儀
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- JIKCO吉高濃度計(jì)
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- Axometrics美國(guó)
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- DSK電通熒光燈
- DNL**燈
- ORIHARA折原應(yīng)力儀
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
該系統(tǒng)是為射頻濺射、等離子體CVD、刻蝕等等離子產(chǎn)生用電源的相位調(diào)整而設(shè)計(jì)的。
本系統(tǒng)可控制在13.56MHz運(yùn)行的多臺(tái)RF電源的輸出相位 。
詳情介紹：
該系統(tǒng)是為射頻濺射、等離子體CVD、刻蝕等等離子產(chǎn)生用電源的相位調(diào)整而設(shè)計(jì)的。本系統(tǒng)可控制在13.56MHz運(yùn)行的多臺(tái)RF電源的輸出相位 。
特點(diǎn)
- 可以控制多個(gè)RF電源的相位。
- 相位移功能可調(diào)節(jié)陰極之間的差異，以提供具有較少變化的穩(wěn)定工藝。
規(guī)格
| 型號(hào) | PHS-04N | PHS-08N | |
| 輸入規(guī)格 | 輸出電壓 | 單相 AC90～240V | |
| 輸入容量 | 70VA | ||
| 輸出規(guī)格 | 輸出通道數(shù) | 4 | 8 |
| 振蕩頻率 | 13.56MHz±0.05% | ||
| 相位設(shè)定范圍 | 0～360° | ||
| 外形尺寸 W×D×H | 480×192×49mm （不包含凸起部分） | ||
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