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ULVAC愛發(fā)科DC脈沖電源 DC-P系列是對反應(yīng)性工藝中產(chǎn)生的電弧有效的電源。 由于設(shè)定了的周期性反轉(zhuǎn)輸出電壓，中和靶材表面積蓄的電荷，實(shí)現(xiàn)了良率和產(chǎn)能的提高。 查看詳情
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ULVAC愛發(fā)科DC脈沖電源 DC-P系列是對反應(yīng)性工藝中產(chǎn)生的電弧有效的電源。 由于設(shè)定了的周期性反轉(zhuǎn)輸出電壓，中和靶材表面積蓄的電荷，實(shí)現(xiàn)了良率和產(chǎn)能的提高。 查看詳情
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ULVAC愛發(fā)科雙陰極用雙極元件 MFU-20K是通過與ULVAC制DC電源組合，將直流輸出轉(zhuǎn)換為雙極脈沖輸出的單元。 以低成本實(shí)現(xiàn)良率和產(chǎn)量的提高。 查看詳情
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ULVAC愛發(fā)科異常放電防止單元 A2K系列是在反應(yīng)性濺射工藝中，在DC電源輸出上脈沖施加正電壓，中和靶材上的積蓄電荷來防止異常放電的附加單元。 能在原來的電源上簡單的追加，低成本實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量和良率提高。 查看詳情
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ULVAC愛發(fā)科異常放電防止單元 A2K系列是在反應(yīng)性濺射工藝中，在DC電源輸出上脈沖施加正電壓，中和靶材上的積蓄電荷來防止異常放電的附加單元。 能在原來的電源上簡單的追加，低成本實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量和良率提高。 查看詳情
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ULVAC愛發(fā)科異常放電防止單元 A2K系列是在反應(yīng)性濺射工藝中，在DC電源輸出上脈沖施加正電壓，中和靶材上的積蓄電荷來防止異常放電的附加單元。 能在原來的電源上簡單的追加，低成本實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量和良率提高。 查看詳情
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ULVAC愛發(fā)科小容量DC電源 濺射用DC電源DCS系列，基本的性能自不必說，更是高性價(jià)比，并且使用領(lǐng)域廣泛。 同時(shí)，與異常放電防止單元(A2K)組合，在反應(yīng)性濺射中也能充分發(fā)揮其威力。 查看詳情
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ULVAC愛發(fā)科小容量DC電源 DC-2和DC-4是2kW和4kW輸出功率的濺射用DC電源。 通過高控制精度重復(fù)再現(xiàn)性、實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)工藝。 查看詳情
