EGN系列是以提高可維護(hù)性為主軸新開發(fā)的金屬蒸發(fā)用EB槍。

采用平頂結(jié)構(gòu)，減少了EB槍的著膜面積，實現(xiàn)了易維護(hù)性。

特點

• 采用了平頂結(jié)構(gòu)，減少了電子束蒸發(fā)源上的成膜區(qū)域，使清潔變得容易
• 采用新的發(fā)射結(jié)構(gòu)可將部件數(shù)量減少到傳統(tǒng)產(chǎn)品的60％，從而簡化了裝配
• 適用于金屬成膜，氧化物/化合物點光束。
• 作為設(shè)備制造商經(jīng)驗積累的成果

用途

• 電子束蒸發(fā)的蒸發(fā)源

  規(guī)格

  型	EGN-206M型	EGN-406M型
  偏轉(zhuǎn)角度	270°	270°
  坩堝數(shù)量	6	6
  坩堝容量	20毫升	40毫升
  冷卻水流量	10L/分鐘	10L/分鐘
  尺寸 W×D×H	267毫米×343毫米×150毫米	267毫米×343毫米×150毫米
  重量	28公斤	28公斤