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簡單介紹：

DC-P系列是對反應性工藝中產(chǎn)生的電弧有效的電源。由于設定了的周期性反轉(zhuǎn)輸出電壓，中和靶材表面積蓄的電荷，實現(xiàn)了良率和產(chǎn)能的提高。

詳情介紹：

DC-P系列是對反應性工藝中產(chǎn)生的電弧有效的電源。
由于設定了的周期性反轉(zhuǎn)輸出電壓，中和靶材表面積蓄的電荷，實現(xiàn)了良率和產(chǎn)能的提高。

特點

型號	DC-5-P	DC-10-P
輸入電壓	AC208V
變動范圍	AC187～229V
相數(shù)、頻率	3相 50/60Hz
輸入容量	8kVA	13.5kVA
*大額定功率	5kW	10kW
額定電流	12.5A	25A
額定電壓	650V/800V^※1
振動頻率	5kHz ～ 250kHz
反向脈沖寬度	0.4μs ～ 5μs 0.1μs可逐個選擇^※2
控制方式	額定功率控制(P控制)/額定電流控制(I控制)/定電壓控制(V控制)
控制精度	額定輸出的±0.5％以下或設定值的±1％，以較大者為準
控制保證范圍	額定功率控制　額定功率值の10 ～ 100%
并列運轉(zhuǎn)	主/從*多可以控制6臺（可以是同一型號）
外部控制	類似物/數(shù)字,RS-232C,RS-485
冷卻方式	強制空冷
外形尺寸（W×D×H)	483mm×630mm×133mm（不包括凸起部分）
質(zhì)量	29kg	36kg
符合標準	CE / SEMI F47 / RoHS指令

動作周圍溫度5°C～40°C（不結(jié)露）
動作環(huán)境：避免陽光直射，高溫，灰塵，振動和腐蝕性氣體
※1： 155kHz的振動頻率選擇時，額定電壓為650V。
※2： 81KHz時，*大反向脈沖寬度受到限制。

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