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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛(ài)發(fā)科DC脈沖電源

  • 產(chǎn)品型號(hào)：DC-10-P
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛(ài)發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
DC-P系列是對(duì)反應(yīng)性工藝中產(chǎn)生的電弧有效的電源。 由于設(shè)定了的周期性反轉(zhuǎn)輸出電壓，中和靶材表面積蓄的電荷，實(shí)現(xiàn)了良率和產(chǎn)能的提高。
詳情介紹：
DC-P系列是對(duì)反應(yīng)性工藝中產(chǎn)生的電弧有效的電源。
由于設(shè)定了的周期性反轉(zhuǎn)輸出電壓，中和靶材表面積蓄的電荷，實(shí)現(xiàn)了良率和產(chǎn)能的提高。

特點(diǎn)

  • 高產(chǎn)量
    通過(guò)減少異常放電可以輸入更高功率
  • 基板損傷減少
    能夠減少電弧引起的基板損壞
  • 可變的反向脈沖頻率
    可在10kHz至250kHz范圍內(nèi)使用
  • 主/從連接允許大容量
    *多可以6臺(tái)并聯(lián)運(yùn)行（可以使用相同型號(hào)）
  • DC輸出也可以
    PULSE功能停止后，也可以當(dāng)作極低電弧性能的DC電源使用</li

用途

  • FPD用反應(yīng)濺射設(shè)備
  • 工業(yè)涂層用反應(yīng)濺射設(shè)備
  • 彩色TFT用反應(yīng)濺射設(shè)備

規(guī)格

型號(hào) DC-5-P DC-10-P
輸入電壓 AC208V
變動(dòng)范圍 AC187～229V
相數(shù)、頻率 3相 50/60Hz
輸入容量 8kVA 13.5kVA
*大額定功率 5kW 10kW
額定電流 12.5A 25A
額定電壓 650V/800V※1
振動(dòng)頻率 5kHz ～ 250kHz
反向脈沖寬度 0.4μs ～ 5μs 0.1μs可逐個(gè)選擇※2
控制方式 額定功率控制(P控制)/額定電流控制(I控制)/定電壓控制(V控制)
控制精度 額定輸出的±0.5％以下或設(shè)定值的±1％，以較大者為準(zhǔn)
控制保證范圍 額定功率控制　額定功率值の10 ～ 100%
并列運(yùn)轉(zhuǎn) 主/從*多可以控制6臺(tái)（可以是同一型號(hào)）
外部控制 類似物/數(shù)字,RS-232C,RS-485
冷卻方式 強(qiáng)制空冷
外形尺寸（W×D×H) 483mm×630mm×133mm（不包括凸起部分）
質(zhì)量 29kg 36kg
符合標(biāo)準(zhǔn) CE / SEMI F47 / RoHS指令

動(dòng)作周圍溫度5°C～40°C（不結(jié)露）
動(dòng)作環(huán)境：避免陽(yáng)光直射，高溫，灰塵，振動(dòng)和腐蝕性氣體
※1： 155kHz的振動(dòng)頻率選擇時(shí)，額定電壓為650V。
※2： 81KHz時(shí)，*大反向脈沖寬度受到限制。

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