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產(chǎn)品列表
  • ULVAC愛發(fā)科工藝氣體分析儀 新型工藝氣體分析儀(RGA)，實現(xiàn)了高壓下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革 命性的簡單易操作性。來自不同生產(chǎn)線的設(shè)備工程師的反饋被納入產(chǎn)品的設(shè)計中，*適合濺射設(shè)備的工藝管理（提高品質(zhì)、提高良率）。 查看詳情
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  • ULVAC愛發(fā)科氣體分析儀 反應(yīng)過程氣體監(jiān)視器Qulee RGM2-201F是Qulee系列的對應(yīng)蝕刻、CVD、ALD裝置等反應(yīng)性氣體的帶差動排氣系統(tǒng)的過程監(jiān)視器。 查看詳情
  • ULVAC愛發(fā)科吸槍部件 HELIOT 900 series在嗅探器方法 (吸入方法) 中使用的單元 AS9的吸入量小，可以進(jìn)行高靈敏度的測量 查看詳情
  • ULVAC愛發(fā)科吸槍部件 HELIOT 900 series在嗅探器方法 (吸入方法) 中使用的單元 AS9的吸入量小，可以進(jìn)行高靈敏度的測量 查看詳情
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  • ULVAC愛發(fā)科校正漏孔毛細(xì)管型 通過向微細(xì)孔中導(dǎo)入氦氣，可以得到一定泄漏量的校正漏孔。校正方法準(zhǔn)備了真空法校正和嗅探法校正兩種。 查看詳情
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