反應(yīng)過程氣體監(jiān)視器Qulee RGM2-201F是Qulee系列的對(duì)應(yīng)蝕刻、CVD、ALD裝置等反應(yīng)性氣體的帶差動(dòng)排氣系統(tǒng)的過程監(jiān)視器。 由于ULVAC獨(dú)特的離子源和排氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，對(duì)反應(yīng)性氣體具有優(yōu)異的耐腐蝕性，可以長時(shí)間穩(wěn)定測(cè)量。

特點(diǎn)

• 排氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)集成，實(shí)現(xiàn)縱向放置，即使在空間有限的生產(chǎn)線上也可以進(jìn)行反應(yīng)氣體監(jiān)測(cè)，
• 因?yàn)樽阚E是世界上*小的。
• 在維護(hù)期間，燈絲套件的更換速度大大提高2名工人在10分鐘內(nèi)完成了120分鐘的工作。
• 使用雙燈絲，即使**根燈絲斷線，也可以在不停止生產(chǎn)線的情況下進(jìn)**體分析。
• 采用觸摸屏，可以實(shí)時(shí)檢查情況。
• 從啟動(dòng)到測(cè)量的操作僅在個(gè)人計(jì)算機(jī)上完成。
• 采用敝公司獨(dú)特的帶磁鐵的Closed Ion Source,即使在反應(yīng)性過程中也可以長時(shí)間穩(wěn)定測(cè)量。
• 由于具有低氣體解離和高靈敏度的電離室，因此僅使用法拉第杯就可以進(jìn)行高靈敏度的氣體分析。
• 一種緊湊的流道控制閥，可防止熱反應(yīng)引起的分解和吸附。
• 縮短了從工藝室到離子源的距離，可以快速響應(yīng)分解。
• 增強(qiáng)預(yù)防保護(hù)功能
  離子源，二次電子倍增管的預(yù)防性保護(hù)
  安裝分析管的可追溯性功能 (**5016031號(hào))
• 標(biāo)準(zhǔn)軟件與Windows 8/10/11兼容。

用途

CVD·酒精性肝病·Etching裝置

• 過程中反應(yīng)氣體的監(jiān)測(cè)
• 蝕刻清洗過程的端點(diǎn)監(jiān)視器
• 殘余氣體測(cè)量

規(guī)格

傳感器