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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ULVAC愛發(fā)科反應式過程氣體監(jiān)測儀

  • 產(chǎn)品型號:RGM2-201F
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛發(fā)科
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簡單介紹:
ULVAC愛發(fā)科反應式過程氣體監(jiān)測儀RGM2-201F,北崎有售
詳情介紹:

ULVAC愛發(fā)科反應式過程氣體監(jiān)測儀RGM2-201F

ULVAC愛發(fā)科反應式過程氣體監(jiān)測儀RGM2-201F


CVD/ALD/Eetche 工藝型號:RGM2-201F

愛發(fā)科

型號:RGM2-201F 的介紹、購買和考慮

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型號:RGM2-201F 支持頁面

榮獲 2023 年日本真空工業(yè)協(xié)會“真空組件大獎”


反應式過程氣體監(jiān)測儀 Qulee RGM2-201F 是一款帶有差壓排氣系統(tǒng)的過程監(jiān)測儀,適用于“型號:Qulee”的蝕刻、CVD 和 ALD 設備等反應過程。 ULVAC 獨特的離子源和排氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)對反應氣體具有出色的耐腐蝕性,可實現(xiàn)長期穩(wěn)定測量。

長處

  • 排氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)是集成的,可以垂直安裝,并且世界上*小的占地面積使得即使在空間有限的生產(chǎn)線上也可以監(jiān)測反應氣體。
  • 在維護期間更換耗材套件的速度得到了顯著提高,兩名工人的 120 分鐘工作可以由一個人在 10 分鐘內(nèi)完成。
  • 雙燈絲即使在**根燈絲斷裂的情況下也能在不停止生產(chǎn)線的情況下進**體分析。
  • 觸摸面板用于實時檢查狀態(tài)。
  • 從啟動到測量的作只能在計算機上完成。
  • 得益于我們專有的帶磁體的閉式離子源,即使在反應過程中,也可以進行長期穩(wěn)定的測量。
  • 電離室氣體解離少,靈敏度高,僅使用法拉第杯即可實現(xiàn)高靈敏度氣體分析。
  • 緊湊的流路控制閥,可防止熱反應引起的分解和吸附。
  • 縮短了從工藝室到離子源的距離,并且可以快速響應分解。
  • 加強預防性維護功能 離子源和二次電子倍增管的
    預防性維護 安裝
    分析管的可追溯性功能(**號 5016031)
  • 標準軟件與 Windows 8/10/11 兼容。

CVD、ALD 和蝕刻設備

  • 過程中的反應氣體監(jiān)測
  • 蝕刻清洗過程的端點監(jiān)控
  • 殘余氣體測量

規(guī)范

傳感器

質(zhì)量數(shù)范圍 (amu) 1~200
分辨率 (m/ΔM) M/ΔM=1M(10%P.H.)
探測器 法拉第杯 (FC)
靈敏度 (A/Pa) *1 1e-5A/Pa(引入直接孔口連接,Ie = 50uA) N2
氣體 = 5e-4Pa 在 Ee 50V
*小感應分壓 (Pa) *1 E-10Pa (EE50V, IE500uA)
總壓力測量功能 *1
全壓力測量范圍 *1 1E-3 ~ E-6 PA 單元
離子源 帶磁體閉式離子源
燈絲 Ir/Y2O3 2(其中 1 個是備用的)
電離電壓 (EE; eV) 20~70eV (Ie50uA 推薦 50V 設置)
發(fā)射電流 (IE;uA) 50uA/500uA(EE50V,過程測量推薦 50uA)

*1 備用燈絲 (FIL2) 不適用。

差速器排氣系統(tǒng)

連接法蘭 VCR1/2“ 螺母等效
規(guī)格 壓力 可在 0.5~30Pa/10~500Pa 中選擇
渦輪分子泵 UTM70B(70升/秒)
Foreline 泵
前級液進口:KF16
保證前級壓力:500Pa 或更低 用于前級壓力檢查的
皮拉尼真空計:SW100-A
用于設備壓力監(jiān)測的真空計 電容壓力計 型號: CCMT

效用

電源電壓 AC100~120V/6A,AC200~220V/3A
壓縮空氣 干燥 N2:0.4MPa

其他

質(zhì)量 20公斤
控制單元 觸控面板
塊式加熱裝置 110°C±10°C

選擇

分析管 RGM-AN201F 系列 用于 RGM2-201F
離子源 RGM-IS01F 系列 用于 RGM2-201F
耗材套件 RGM-FL01F 系列 用于 RGM2-201F
RGM-OF030F 系列 RGM2-201F 用 (工作壓力范圍: 0.5~30Pa)
RGM-OF010F 系列 RGM2-201F 用 (工作壓力范圍 : 10~500Pa)



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