長處

• 排氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)是集成的，可以垂直安裝，并且世界上*小的占地面積使得即使在空間有限的生產(chǎn)線上也可以監(jiān)測反應氣體。
• 在維護期間更換耗材套件的速度得到了顯著提高，兩名工人的 120 分鐘工作可以由一個人在 10 分鐘內(nèi)完成。
• 雙燈絲即使在**根燈絲斷裂的情況下也能在不停止生產(chǎn)線的情況下進**體分析。
• 觸摸面板用于實時檢查狀態(tài)。
• 從啟動到測量的作只能在計算機上完成。
• 得益于我們專有的帶磁體的閉式離子源，即使在反應過程中，也可以進行長期穩(wěn)定的測量。
• 電離室氣體解離少，靈敏度高，僅使用法拉第杯即可實現(xiàn)高靈敏度氣體分析。
• 緊湊的流路控制閥，可防止熱反應引起的分解和吸附。
• 縮短了從工藝室到離子源的距離，并且可以快速響應分解。
• 加強預防性維護功能 離子源和二次電子倍增管的
  預防性維護 安裝
  分析管的可追溯性功能（**號 5016031）
• 標準軟件與 Windows 8/10/11 兼容。

用

CVD、ALD 和蝕刻設備

• 過程中的反應氣體監(jiān)測
  
• 蝕刻清洗過程的端點監(jiān)控
  器
• 殘余氣體測量

規(guī)范

傳感器