高壓工藝型號(hào)：Qulee with YTP-H 真空規(guī)格（1， 10， 100， 500， 3000Pa）

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型號(hào)：Qulee with YTP-H 真空規(guī)格（1， 10， 100， 500， 3000Pa）

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帶差動(dòng)排氣系統(tǒng)套件的四極桿質(zhì)譜儀（帶 YTP-H 的 Qulee）旨在滿(mǎn)足 ULVAC 在 Qulee 領(lǐng)域的豐富經(jīng)驗(yàn)并滿(mǎn)足客戶(hù)需求，具有增強(qiáng)的功能和易用性。
它可以用于廣泛的目的，從過(guò)程控制和殘余氣體分析到各種真空設(shè)備的研發(fā)。

長(zhǎng)處

多功能規(guī)格，出色的性?xún)r(jià)比差速排氣系統(tǒng)可在單個(gè)單元中實(shí)現(xiàn)過(guò)程監(jiān)測(cè)和殘余氣體分析（RGA）
緊湊的設(shè)計(jì) 緊湊的設(shè)計(jì)，帶有標(biāo)準(zhǔn)的排氣裝置桌面 YTP
內(nèi)置顯示器設(shè)計(jì)無(wú)需 PC 即可進(jìn)行測(cè)量
易于使用的一鍵式功能（每個(gè)人都可以輕松，無(wú)需復(fù)雜的作）
指定壓力可從 3000 Pa、500 Pa、100 Pa、10 Pa 和 1 Pa 中選擇
可選擇測(cè)量質(zhì)量范圍 1 ~ 100 （BGM2-101 / 102）、1 ~ 200 （BGM2-201 / 202）和 1 ~ 300 （HGM2-302）
低噪音：運(yùn)行噪音為 43 dB（A）或更低的低音設(shè)計(jì)
無(wú)需真空計(jì)的專(zhuān)用顯示器：可以捕獲真空計(jì)的信號(hào)并顯示在作屏幕上（真空計(jì)是可選的）
增強(qiáng)的泄漏測(cè)試功能可進(jìn)行氦氣泄漏測(cè)試、空氣泄漏測(cè)試和粘附測(cè)試。
Qulee QCS Ver4.2 或更高版本，標(biāo)配以太網(wǎng)兼容軟件（兼容 Windows 8/10/11）

用

用于研發(fā)應(yīng)用的氣體分析
濺射設(shè)備、真空沉積設(shè)備等工藝中的氣體監(jiān)測(cè)器
濺射設(shè)備、真空沉積設(shè)備等的殘余氣體分析
高真空排氣系統(tǒng)的殘余氣體分析
檢查真空滲碳爐的終點(diǎn)和氧氣濃度
檢查冷凍干燥機(jī)中的干燥點(diǎn)和雜質(zhì)

規(guī)范

氣體分析儀本體		從 Qulee BGM2-101 / 102 / 201 / 202、HGM2-302 中選擇* 有關(guān) Qulee 本體的規(guī)格，請(qǐng)單獨(dú)參考各個(gè)目錄
		軟件 Qulee QCS Ver4.2 或更高版本（兼容 Windows 8/10/11）
*大采樣壓力		從 3000Pa / 500Pa / 100Pa / 10Pa / 1Pa 中選擇
真空規(guī)格	氣體引入系統(tǒng) （3000 ~ 1Pa 規(guī)格）	手動(dòng)波紋管閥（2 系統(tǒng)：孔流管路 / 直接管路）接頭法蘭： ICF070
	*大采樣壓力	從 3000Pa / 500Pa / 100Pa / 10Pa / 1Pa 中選擇一種
可變泄漏閥規(guī)格	采樣壓力	大氣壓力~1e-3Pa 可通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)來(lái)控制
排氣裝置	臺(tái)式Y(jié)TP 平板電腦（YTP70A-D）	渦輪分子泵	抽速 70 L/s （N₂)
		干泵（粗抽型）	抽速 20 L/min（隔膜式）
		電源電壓	交流100-240V
附屬品		包括 AC100V 電源線(xiàn) 1、DesktopYTP 底座 2、Qulee 用 AC 適配器、Qulee 用 LAN 電纜（3m）、軟件安裝盤(pán)、法蘭固定螺栓組、墊圈（ICF114G、ICF070G）、各種固定螺釘
選擇		電離真空計(jì)套裝（SH200-1 電離真空計(jì)、測(cè)量元件電纜 2m、交叉配管、螺栓組、墊圈）、USB-LAN 適配器、交換集線(xiàn)器（8 端口/16 端口）3、地板推車(chē)套裝 4

*1 AC100V 在日本以外的環(huán)境中使用時(shí)，請(qǐng)單獨(dú)購(gòu)買(mǎi)電源線(xiàn)。
*2 請(qǐng)務(wù)必在安裝 DesktopYTP 時(shí)使用。
*3 交換集線(xiàn)器需要單獨(dú)的 AC 適配器。
*4 落地車(chē)組由客戶(hù)組裝。