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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科加強(qiáng)泄漏檢測氣體分析儀

  • 產(chǎn)品型號(hào)：BGM2-201
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
ULVAC愛發(fā)科殘余氣體分析儀BGM2-201，北崎有售
詳情介紹：

ULVAC愛發(fā)科殘余氣體分析儀BGM2-201

ULVAC愛發(fā)科殘余氣體分析儀BGM2-201


基本流程型號(hào)：BGM2-201 / 202

愛發(fā)科

型號(hào)：BGM2-201 / 202的介紹、購買和考慮

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型號(hào)：BGM2-201 / 202 支持頁面
簡單性和易用性與 ULVAC 的新型殘余氣體分析儀 （RGA） 相結(jié)合。 這是過程監(jiān)控新標(biāo)準(zhǔn)的出現(xiàn)，它體現(xiàn)了各種生產(chǎn)線上設(shè)備工程師的聲音。 它非常適合真空沉積設(shè)備和各種真空爐的設(shè)備管理。

長處

  • 性價(jià)比優(yōu)異的通用規(guī)格
  • 測量質(zhì)量數(shù)范圍 1~200 amu
  • 集成顯示設(shè)計(jì)：無需計(jì)算機(jī)即可進(jìn)行測量
  • 易于使用： 一鍵功能： 對(duì)每個(gè)人都很容易。 無需并發(fā)癥
  • 加強(qiáng)泄漏檢測功能
  • 可以進(jìn)行全壓測量
  • 標(biāo)配 Qulee QCS 軟件
  • 符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)

用

  • 真空沉積設(shè)備和濺射設(shè)備等沉積設(shè)備的殘余氣體分析
  • 高真空排氣系統(tǒng)的殘余氣體分析
  • 冷凍干燥機(jī)中的殘余氣體分析
  • 用于研發(fā)的各種氣體分析

規(guī)范

分辨率：M/△M=1M（10% P.H.）

型 BGM2-101 系列 BGM2-201 型 型號(hào) BGM2-102 BGM2-202 系列
質(zhì)量分離法 四極桿質(zhì)譜儀
質(zhì)量數(shù)范圍 1~100 阿姆 1~200 AMU 1~100 阿姆 1~200 AMU
探測器 法拉第杯 二次電子倍增管法
拉第杯
敏感性 10-7A/Pa 4A/Pa
*小感應(yīng)分壓 10-8帕 10-12帕
*大工作壓力 1x10-2帕
總壓力測量功能 和
一鍵功能 是/他/H2O/N2/O2/任何氣體
一鍵式泄漏
檢查 		和
電源電壓 DC24V±10% 50W
*高烘烤
溫度
（連接傳感器單元時(shí)） 		120°C
*高烘烤
溫度
（拆下傳感器單元時(shí)） 		250°C
工作溫度范圍 10~40°C
軟件 Qulee QCS Ver4.2 或更高版本（兼容 Windows 8/10/11）
法規(guī)遵從性 CE

選擇

分析管 BGM-AN101/201 系列 BGM（2）-101/201
分析管 BGM-AN102/202 系列 BGM（2）-102/202
離子源 BGM-IS01 系列 BGM（2）/REGA 樂隊(duì)
二次電子倍增管 BGM-EM01 系列 用于 BGM-AN102/102


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