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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科殘余氣體分析儀

  • 產(chǎn)品型號：CGM2-052
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
ULVAC愛發(fā)科殘余氣體分析儀CGM2-052，北崎有售
詳情介紹：

ULVAC愛發(fā)科殘余氣體分析儀CGM2-052

ULVAC愛發(fā)科殘余氣體分析儀CGM2-052


濺射工藝型號：CGM2-051 / 052

愛發(fā)科

型號：CGM2-051 / 052 介紹、購買和考慮

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型號：CGM2-051 / 052 支持頁面
愛發(fā)科的新型殘余氣體分析儀和過程氣體監(jiān)測儀 （RGA） 在高壓（小于 1 Pa）下具有高精度和高分辨率，具有簡單性和易用性。
這是過程監(jiān)控新標準的出現(xiàn)，它體現(xiàn)了各種生產(chǎn)線上設(shè)備工程師的聲音。
它是濺射設(shè)備的過程控制（質(zhì)量改進、產(chǎn)量提高）的理想選擇。

長處

  • 濺射工藝的理想選擇
  • 空氣泄漏監(jiān)測
  • 殘余水分管理
  • 過程監(jiān)控不需要差速排氣系統(tǒng)：可以測量 1 Pa 或更低，可以節(jié)省空間。
  • 能夠進行高靈敏度泄漏測試 （CGM2-052），增強泄漏測試功能
  • 可以進行全壓測量
  • 集成顯示設(shè)計：無需計算機即可進行測量
  • 易于使用 - 一鍵式功能：每個人都可以輕松，無需復(fù)雜的作
  • 標配 Qulee QCS 軟件
  • 符合 CE 標準

用

  • 用于濺射設(shè)備中的殘余氣體分析、過程監(jiān)測和雜質(zhì) （H2O） 控制
  • 用于濺射設(shè)備的泄漏測試

規(guī)范

分辨率

M/△M=1M（10% P.H.）

型 CGM2-051 CGM2-101 系列 CGM2-052 CGM2-102 系列
質(zhì)量分離法 四極桿質(zhì)譜儀
質(zhì)量數(shù)范圍 1~50 阿姆 1~100 阿姆 1~50 阿姆 1~100 阿姆
探測器 法拉第杯 二次電子倍增管/法拉第杯
敏感性 0.1uA/帕 0.1mA/帕
*小感應(yīng)分壓 1x10-7帕 1x10-10帕
*大工作壓力 2蹲 2Pa（FC）1x10-2帕斯卡（SEM）
線性 1帕
總壓力測量功能 和
DEGAS 功能 是 / 電擊分離方式，300V / 5mA
一鍵式泄漏檢查 是 / He /H2O / N2 / O2 / 任何氣體
電源電壓 DC24V±10% 50W
*高烘烤溫度
（連接傳感器單元時） 		120°C
*高烘烤溫度
（拆下傳感器單元時） 		250°C
工作溫度范圍 10~40°C
接口 以太網(wǎng)
軟件 兼容 Qulee QCS Ver.4.2 或更高版本 （Windows 8/10/11）
法規(guī)遵從性 CE

選擇

分析管 CGM-AN51 系列 CGM（2）-051/101
分析管 CGM-AN52 系列 圓木（2）-052/102
離子源 CGM-IS01 系列 CGM （2） 所有型號通用
二次電子倍增管 CGM-EM01 系列 圓木（2）-052/102


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