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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛(ài)發(fā)科升溫脫離氣體分析裝置

  • 產(chǎn)品型號(hào)：TDS-M202R
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛(ài)發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
使用質(zhì)譜儀對(duì)脫離氣體定性分析，通過(guò)四極質(zhì)譜儀分析紅外鍍金聚焦?fàn)t使試料升溫時(shí)，試料溫度與放出氣體的關(guān)系。
詳情介紹：
使用質(zhì)譜儀對(duì)脫離氣體定性分析，通過(guò)四極質(zhì)譜儀分析紅外鍍金聚焦?fàn)t使試料升溫時(shí)，試料溫度與放出氣體的關(guān)系。

特點(diǎn)

  • 質(zhì)譜分析可以在10 -5 Pa的高真空下進(jìn)行測(cè)量。
  • 紅外燈加熱，石英反應(yīng)管是冷壁，幾乎沒(méi)有排出的氣體。
  • 具有從高速加熱到低速加熱的廣泛設(shè)置范圍，可實(shí)現(xiàn)多步加熱和循環(huán)加熱。

用途

  • 真空油脂、O-ring等各種真空材料的評(píng)估
  • 半導(dǎo)體晶圓，芯片評(píng)估
  • 合金，陶瓷，固體材料等的微量氣體分析

規(guī)格

溫度范圍 室溫 ~ 1000°C
樣本量 □20 × t2 （毫米）
大氣層 真空
加熱方式 拋物面反射紅外管加熱方法
溫度傳感器 熱電偶 （JIS “K”）
**真空 范圍 10-5Pa（烘烤 8 小時(shí)后）
質(zhì)量量的測(cè)量范圍 1~200AMU
**衛(wèi)士 冷卻水 ? 漏電 （ELB）
敏感性 4A/PA型
分辨率 M/△M=1M（10%P.H.）
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