特點(diǎn)

• APD-P
  可對(duì)用納米粒子
• APD-S
  可控制從nm級(jí)的膜厚到μm級(jí)的膜厚的脈沖數(shù)，可以容易地控制膜厚。

• 用途

  • APD-P（用于在粉末上加載納米顆粒）
    使用納米粒的燃料電池催化劑　排氣催化劑　光觸媒
    VOC分散催化劑　碳納米管催化劑　等離子
  • APD-S（基板成膜用）
    金屬薄膜（磁性　等離子　保護(hù)膜）
  • 
    

• 規(guī)格

  型	APD-S型	ODA-P型
  樣本量	基板 Φ 2 inch	粉末 容器尺寸（內(nèi)部尺寸）  Φ 95mm × H 30mm  帶攪拌機(jī)構(gòu)
  標(biāo)準(zhǔn)沉積編號(hào)	1	1

  機(jī)制

  

  腔室抽真空后，觸發(fā)器在目標(biāo)桿表面引起電弧放電。然后從目標(biāo)棒產(chǎn)生高度電離的金屬等離子體，

  五大期貨

  • 該系統(tǒng)可以通過改變聚光鏡容量來選擇大約1.5nm至6nm范圍內(nèi)的納米顆粒直徑。
  • 該系統(tǒng)可以使任何材料成為等離子體，以防它們是導(dǎo)電材料（目標(biāo)）。
    *目標(biāo)比電阻為0.01Ωcm以下
  • 該系統(tǒng)很容易通過改變大氣產(chǎn)生氧化物和氮化物。
    此外，當(dāng)石墨在 H2 氣體中排出時(shí)，它會(huì)產(chǎn)生 UNCD（超納米晶金剛石）。
  • 與濕法工藝相比，該系統(tǒng)所支撐的納米顆粒顯示出積極的催化作用。
  • APD-P 型支持納米顆粒到粉末。
    APD-S 型支持納米顆粒到 2 英寸基板。
    *上述 1、3 和 4 取決于文獻(xiàn)。
  

  與傳統(tǒng)的濕法催化劑相比，弧等離子體法負(fù)載在CeO2上的Pt和Pd催化劑對(duì)CO氧化的催化活性更高。
  引用文獻(xiàn)：熊本大學(xué)町田教授的“教育部，要素戰(zhàn)略項(xiàng)目成就”

  冷凝器容量與納米粒徑的關(guān)系

  

  

  系統(tǒng)支持鉑到碳粉的透射電鏡圖像

  
  

• 沒有任何放電氣體，并沉積在基板上形成各種薄膜和納米顆粒。