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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科紅外線燈加熱設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號(hào)：QHC-E410
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
用于從太陽能電池到化合物半導(dǎo)體等的工藝開發(fā)。
詳情介紹：
用于從太陽能電池到化合物半導(dǎo)體等的工藝開發(fā)。
QHC系列是組合了紅外鍍金聚焦?fàn)t和溫度控制器，更加緊湊地裝備了石英熱處理腔體的高速加熱·高速冷卻設(shè)備。
在個(gè)人電腦上能進(jìn)行加熱操作簡單地?cái)?shù)據(jù)管理。
加熱操作可在電腦上進(jìn)行，可輕松進(jìn)行數(shù)據(jù)管理。

特點(diǎn)

  • 各種條件設(shè)定，從高速加熱到低速加熱
  • 多步循環(huán)加熱
  • 通過氣體冷卻機(jī)構(gòu)進(jìn)行高速氣體淬火和冷卻控制
  • 通過PC輕松管理數(shù)據(jù)

用途

  • 太陽能電池基板的熱處理
  • 氫環(huán)境下的熱處理
  • 各種材料的基礎(chǔ)研究用環(huán)境退火?熱處理模擬器
  • 氣淬熱處理
  • 熱循環(huán)測(cè)試　熱沖擊測(cè)試
  • 半導(dǎo)體材料的燒制和退火條件的檢測(cè)
  • 2英寸晶圓研究用退火
  • 陶瓷控制環(huán)境下的熱處理

規(guī)格

型 QHC、VHC-E410 QHC、VHC-P610C QHC、VHC-P616C
加熱方式 聚焦光圓柱加熱 平行光圓柱加熱
溫度范圍 室溫 ~ 1400°C 室溫 ~ 1200°C
加熱區(qū) Φ15mm×L 100mm Φ50mm×L 100毫米 Φ50mm×L 150毫米
浸泡區(qū) Φ10mm×L 80毫米 Φ40mm×L 80毫米 Φ40mm×L 120mm
冷卻方式 從腔室內(nèi)的石英噴嘴吹出氣體

※1 加熱溫度根據(jù)被加熱樣品的紅外反射率、吸收率、熱容和材料而變化。
※2 其他規(guī)格要求，請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系。

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