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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛(ài)發(fā)科簡(jiǎn)易型紅外線燈加熱設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號(hào)：SSA-P610C
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛(ài)發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
紅外鍍金聚焦?fàn)t和石英腔體構(gòu)成的簡(jiǎn)易型設(shè)備。
詳情介紹：
紅外鍍金聚焦?fàn)t和石英腔體構(gòu)成的簡(jiǎn)易型設(shè)備。
由紅外鍍金聚焦?fàn)t及包含試料架的石英腔體構(gòu)成的低價(jià)格的加熱系統(tǒng)。

特點(diǎn)

  • 石英腔室可以選擇氣流型或真空型（標(biāo)準(zhǔn)是氣流型）
  • 可選，可以使用氣流型和真空型

用途

  • 化合物半導(dǎo)體的合金化
  • Si、化合物半導(dǎo)體のRTA
  • 陶瓷基板上的層壓材料的燒制爐
  • 用于玻璃和陶瓷基板的退火爐

規(guī)格

型 SSA-E45 SSA-E410 SSA-P610C
加熱方式 聚焦光圓柱加熱 平行光圓柱加熱
溫度范圍 室溫 ~ 1400°C 室溫 ~ 1200°C
加熱區(qū) Φ15mm×L 50毫米 Φ15mm×L 100mm Φ50mm×L 100毫米
浸泡區(qū) Φ10mm×L 40毫米 Φ10mm×L 80毫米 Φ40mm×L 80毫米
加熱室 石英室 Φ30（氣體流量用） 石英室 Φ98（氣體流量用）
樣品架 船形石英支架 用于 2 英寸晶圓的石英支架
熱電偶 JIS R型
溫度控制器 TPC5000-32-1 TPC5000-62-1

※ 加熱溫度根據(jù)被加熱樣品的紅外反射率、吸收率、熱容和材料而變化。

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