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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ULVAC愛發(fā)科

  • 產(chǎn)品型號:MILA-5050
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
詳情介紹:


本設(shè)備是可以對尺寸為50*50毫米的試料進行熱處理的桌上型燈加熱設(shè)備。
MILA-5000(對應(yīng)20*20毫米的試料)系列自上市以來,一直受到廣大客戶的喜愛。
應(yīng)客戶需求,開發(fā)了可以對50*50毫米試料進行熱處理的,擁有將加熱爐、腔體、溫度控制器一體化的緊湊機身的本機型。

特點

  • 可以熱處理*大W 50mm × L 50mm尺寸的樣品
  • *高使用溫度為1200°C
  • 桌面型,加熱爐,腔室,溫度控制器一體化
  • Cold Wal結(jié)構(gòu)l可以快速加熱/冷卻和清潔加熱
  • 通過連接有USB連接在電腦上,可以輕松輸入溫度程序
  • 加熱時的溫度數(shù)據(jù)可以顯示在計算機屏幕上(可以保存為文本文件)

用途

  • Si晶圓、化合物晶圓的高速加熱
  • 光CVD基板加熱等の電子材料高速加熱
  • 玻璃基板、陶瓷、復(fù)合材料等的熱處理
  • 熱循環(huán)測試
  • 金屬材料的退火
  • 涂膜的耐熱性評估
  • 有機材料、樹脂類的加熱、干燥

規(guī)格

溫度范圍 室溫~1200°C
升溫速率 50°C/秒
樣本量 ?50 或 Φ50 × t2 (mm)
大氣層 真空、氣體流量

*真空泵系統(tǒng)是可選的。* 加熱溫度根據(jù)被加熱樣品的紅外反射率、吸收率、熱容和材料而變化。

測量數(shù)據(jù)

img_mila-505001-en.png

(1) 500°C,Δt = 3.2°C
(2) 800°C,Δt = 0.6°C
(3) 1000°C,Δt = 4.2°C
(4) 1200°C,Δt = 2.6°C

樣品組件(測量 2 英寸樣品時)

img_mila-505002-en.png

碳化硅涂層碳基座和石英樣品架是可選部件(上圖)。

效用

電源 交流200V,5kW
冷卻水 城市用水,流量6L/min水
壓0.3MPa以上
系統(tǒng)大小 450(寬) x 492(深) x 219(高) mm 無突起
重量 約24kg

選擇

  • SiC涂層碳基座
  • 真空排氣系統(tǒng)(RP、DRY、TMP等)
  • 氣體流量計(轉(zhuǎn)子流量計)
  • 冷卻水流量開關(guān)
  • 止回閥(溢流閥)
  • 電力電纜、冷卻水軟管
  • 冷卻水循環(huán)器
  • 手持式點焊機 (HS-9000)
  • 手持式電弧焊機(HA-1H)
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