*大6英寸的燈管退火設(shè)備。

用于個(gè)別半導(dǎo)體工藝的硅化物形成和化合物半導(dǎo)體的工藝退火

特點(diǎn)

• Cold Wall結(jié)構(gòu)不會(huì)造成重金屬污染

  用途

• 可以實(shí)現(xiàn)Si晶圓的急速熱處理

  規(guī)格

• 型號	RTP-6型
  溫度范圍	室溫~1000°C
  樣品尺寸	4inch~6inch晶圓尺寸
  測量環(huán)境	氣體中、氣流中、大氣中
  應(yīng)用	渦輪分子泵/回轉(zhuǎn)泵排氣組 冷卻水循環(huán)設(shè)備 高溫計(jì)控制 SiC碳板

  

  加熱室

  憲法

  • 紅外金像爐
  • 熱處理室
  • 可編程溫度控制器
  • 9區(qū)輸出單元
  • 量程更換單元
  • 燃?xì)夤艿老到y(tǒng)
  • 熱風(fēng)排氣系統(tǒng)
  • 框架?開關(guān)板
  • 高溫計(jì)（可選）
  • 冷卻水循環(huán)系統(tǒng)（可選）
  • 真空排氣系統(tǒng)（可選）

  系統(tǒng)圖

  

  效用

  外形尺寸	約W600 x D1000 x H1700 （mm）（不包括突出部分）
  重量	約300kg
  電源要求?接地	三相交流200V 30kVA，D型
  冷卻水	城市用水15L/min以上，0.3MPa以上
  真空排氣口	KF-25型
  氣體端口	輸入：1/4 世偉洛克接頭（或同等產(chǎn)品） 輸出：3/8 世偉洛克接頭（或等效產(chǎn)品）
  熱風(fēng)出口	約Φ50短管