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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科紅外鍍金聚焦?fàn)t

  • 產(chǎn)品型號(hào)：E25P
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
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簡單介紹：
通過紅外線燈加熱的紅外鍍金聚焦?fàn)t作為研究開發(fā)設(shè)備和生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。 從高速加熱到廣域加熱都可滿足客戶的需求。
詳情介紹：
通過紅外線燈加熱的紅外鍍金聚焦?fàn)t作為研究開發(fā)設(shè)備和生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。
從高速加熱到廣域加熱都可滿足客戶的需求。

特點(diǎn)

  • 具有拋物反射表面的平行紅外光，可以均勻地加熱大面積區(qū)域

用途

  • Si、化合物半導(dǎo)體的RTA
  • 玻璃?陶瓷基板的退火爐
  • 金屬環(huán)境退火爐
  • 復(fù)合材料的耐熱評(píng)估爐
  • 高溫張力?雅俗試驗(yàn)用加熱爐

規(guī)格

  • E型
  • VHT型
  • P型

img_rhl-e-vht-p-series_01-5.jpg

型*1 加熱方式 *高加熱
溫度*2 		加熱長度
（發(fā)光長度） 		燈電壓
 輸入
E110L 聚焦光單表面加熱 － 265毫米 200V 2.0kW
E25N 聚焦光圓柱加熱 1100°攝氏度 140毫米 100伏 2.0kW
E25P 1300°攝氏度 200V 2.4kW
E45N 1100°攝氏度 100伏 4.0kW
E45P 1400°攝氏度 200V 4.8kW
E410N 1100°攝氏度 265毫米 200V 4.0kW
E410P 1400°攝氏度 8.0千瓦
VHT-E44 1700°攝氏度 100毫米 200V 8.0千瓦
VHT-E64 12.0kW
VHT-E48 1800°攝氏度 225毫米 480伏 24.0kW
VHT-E68 36.0kW
P44CP 平行光圓柱加熱 1200°攝氏度 100毫米 100伏 4.0kW
P48CP 200毫米 200V 6.4千瓦
P410CP 265毫米 8.0千瓦
P65CN 900°攝氏度 140毫米 100伏 6.0kW
P65CP 1200°攝氏度 200V 7.2千瓦
P610CN 900°攝氏度 265毫米 6.0kW
P610CP 1200°攝氏度 12.0kW
P810CN 900°攝氏度 8.0千瓦
P810CP 1100°攝氏度 16.0kW

*1 型號(hào)含義

對(duì)于 E410N

E：反射面型
E ： 橢球體反射 ， P:P阿拉伯反射
4 ： 燈泡數(shù)量
10 ： 燈長
N ： 加熱方式， 燈型
L ： 線性聚焦燈 ， C ： 圓柱加熱 ， N ： N 燈 ， P ： P 燈

*2 *高加熱溫度根據(jù)被加熱樣品的紅外反射率、吸收率、熱容和材料而變化。

?加熱爐需要冷卻水，敬請(qǐng)諒解。
?加熱溫度根據(jù)被加熱樣品的紅外反射率、吸收率、熱容和材料而變化。
?有關(guān)其他規(guī)格要求，請(qǐng)隨時(shí)與我們聯(lián)系。

原則

紅外燈的輻射光譜分布

img_rhl-e-vht-p-series_02-en.png
1.輻射加熱

紅外金像爐是以高能量密度的紅外燈為加熱源的輻射加熱爐。
爐體采用水冷鋁合金，紅外線反射面拋光鍍金，反射率高。

2.紅外線燈

將鎢絲密封在石英玻璃制成的管中，其光譜的峰值在近紅外區(qū)域約為1.15μm。
紅外燈提供的能量密度是傳統(tǒng)加熱元件的 10 到 15 倍。

3.反光板

反射器以高精度曲率加工，以增強(qiáng)反射率并防止劣化。
由于其形狀，反射器有兩種類型，一種是橢圓形，另一種是拋物線型。RHL-E和VHT-E系列具有橢圓形反射器，適用于棒狀樣品的加熱，另一種型號(hào)：RHL-P，RHL-Ps和RHL-Pss系列具有拋物面式反射器，適用于片狀樣品。

E型

*大熱速測試

img_rhl-e04-en.png

窯爐：E410P
樣品：W10×L50×t1 （mm）
大氣：空氣
材質(zhì)：SUS板

VHT型

使用超高溫爐進(jìn)行*大熱速測試

img_vht-e04-en.png

窯爐：VHT-E68
樣品：Φ12×L30 （mm）
大氣：N2 流動(dòng)期間
材質(zhì)：碳素

P型

*大熱速測試

img_rhl-p04-en.png

窯爐：P610P
樣品：W20×L50×t0.8 （mm）
大氣：空氣
材質(zhì)：SUS板

Temperature uniformity test

img_rhl-p05-en.png

Furnace：P610CN
Sample：W50×L100×t4 (mm)
Atmosphere：During N2 flow
Material：Carbon plate

Multi step heat test

img_rhl-p06.png

Furnace：P610CN
Sample：W50×L80×t0.5 (mm)
Atmosphere：During N2 flow
材質(zhì)：SUS板

按氣體類型劃分的冷卻速度

img_rhl-p07.png
窯爐：P610CP
樣品：W50×L80×t0.5 （mm）
材質(zhì)：SUS板
流量：10 L/min
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