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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：ULVAC愛(ài)發(fā)科紅外線燈退火設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)：RTA-12000
產(chǎn)品廠商：ULVAC愛(ài)發(fā)科
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

從2英寸到300mm的高速熱處理。保持只需10秒。集結(jié)高速加熱技術(shù)，從研發(fā)到生產(chǎn)，提供符合客戶需求的設(shè)備。也可對(duì)應(yīng)*高溫度1450℃高溫下的加熱。

詳情介紹：

從2英寸到300mm的高速熱處理。保持只需10秒。
集結(jié)高速加熱技術(shù)，從研發(fā)到生產(chǎn)，提供符合客戶需求的設(shè)備。
也可對(duì)應(yīng)*高溫度1450℃高溫下的加熱。

特點(diǎn)

可以進(jìn)行高速熱處理
Cold Wall結(jié)構(gòu)不會(huì)造成重金屬污染
可對(duì)應(yīng)C to C機(jī)器人搬送系統(tǒng)
可以與制造工藝設(shè)備組合和連接

用途

LED基板退火
活性化退火
SiC晶圓的退火
動(dòng)力裝置的退火
硅化物形成
可對(duì)應(yīng)氧化環(huán)境

規(guī)格

（From the left）

RTA-4000 CtoC
RTA-2000
RTA-6000

Model	Sample Size	Temperature Range	Max. Heating Rate	Atmosphere
RTA-2000	Φ2-inch × 1 piece	RT ～ 1000℃	100℃ /s	In Air, Vacuum, Static gas, Gas flow
RTA-4000	Φ3 ～ 4-inch × 1 piece		200℃ /s
RTA-6000	Φ4 ～ 6-inch × 1 piece		200℃ /s
RTA-8000	Φ6 ～ 8-inch × 1 piece		200℃ /s
RTA-12000	Φ300mm × 1 piece		100℃ /s

※ For other specification requirements, such as Single wafer processing, Flash annealing, C to C type, Other heating temperature, Gas type, Vacuum degree, please feel free to contact us.