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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ULVAC愛發(fā)科2ω法納米薄膜熱傳導(dǎo)率計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):TCN-2Ω
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛發(fā)科
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簡單介紹:
能簡單地評(píng)估納米薄膜的熱傳導(dǎo)率。 在2ω測(cè)量中,是測(cè)量納米薄膜厚度方向的熱傳導(dǎo)率的世界**的商用設(shè)備。 與其他方式相比,能簡單地進(jìn)行試料的制作和測(cè)量。
詳情介紹:
能簡單地評(píng)估納米薄膜的熱傳導(dǎo)率。
在2ω測(cè)量中,是測(cè)量納米薄膜厚度方向的熱傳導(dǎo)率的世界**的商用設(shè)備。
與其他方式相比,能簡單地進(jìn)行試料的制作和測(cè)量。

特點(diǎn)

  • 測(cè)量納米級(jí)薄膜的導(dǎo)熱系數(shù)
  • 樣品準(zhǔn)備簡單

用途

  • 適合熱設(shè)計(jì)所需薄膜的熱導(dǎo)率評(píng)估(半導(dǎo)體器件薄膜,有機(jī)薄膜,Low-k薄膜)
  • 也可以評(píng)估熱電轉(zhuǎn)換材料的薄膜

規(guī)格

測(cè)量特性 室溫
樣本量 W10 × L10 ~ 20 × t0.3 ~ 1 (mm) (基板)
測(cè)量大氣層 真空

**和標(biāo)準(zhǔn)

熱性能測(cè)量方法(日本**第5426115號(hào))

測(cè)量原理

金屬薄膜采用周期加熱法加熱,基頻(f/Hz)。因此,熱能的響應(yīng)頻率為2 f / Hz,等于基本頻率的兩倍。如圖所示,在由金屬薄膜(0)–薄膜(1)-基板(s)組成的薄膜的情況下,金屬薄膜上表面的溫升T(0)可以在一維熱傳導(dǎo)模型的基礎(chǔ)上計(jì)算出來。假設(shè)能量完全到達(dá)底部基板,T(0) 遵循方程,

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(λ / W m-1對(duì)-1, C/J K-1m-3, q/ W m-3, d/m , ω (=2πf ) / s-1

我們注意到實(shí)部(同相振幅)包含薄膜的信息。假設(shè)熱能完全到達(dá)底部基板,則同相振幅與(2ω)成正比-0.5。薄膜(λ1的熱導(dǎo)率由(m:斜率,n:截距)估計(jì)

img_tcn-2omega06_1.gifimg_tcn-2omega01_1.png

TCN-2ω示意圖

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TCN-2ω測(cè)得的各種SiO2薄膜的實(shí)驗(yàn)結(jié)果

img_tcn-2omega03_1.png

薄膜評(píng)估

img_tcn-2omega04_1.png

樣品制備

SiO2薄膜(20-100nm)-Si襯底

d1 / 納米 19.9 51.0 96.8
λ1 / 瓦姆-1對(duì)-1 0.82 1.12 1.20
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