特點(diǎn)

• 絕緣，金屬，半導(dǎo)體材料的濺射設(shè)備。
• 主泵使用油擴(kuò)散泵。
• 可以在Φ80mm×1陰極上單層成膜。

  規(guī)格

  型式		RFS-201
  真空性能	極限壓力	6.6×10-４Pa
  	排氣時(shí)間	6.6×10-３Pa/5min
  真空槽	真空槽	金屬腔 （200mm(W)×250mm(D)×150mm(H))
  	陰極	Φ80mm、1元
  	基板推薦尺寸	Φ80mm×t1-5mm
  	有効成膜范圍	50mm
  	成膜速度	SiO2 SiO2, 成膜20nm/min以上
  	膜厚分布	SiO2 SiO2, 成膜50mm范圍±8％以內(nèi)
  	基板加熱溫度	Max 350℃
  	基板／電極間距	30～50mm(可変）
  排氣系統(tǒng)	主泵	油擴(kuò)散泵（水冷） 150L/sec
  	液體氮?dú)獠都?/span>	選項(xiàng)
  	補(bǔ)助泵	油回轉(zhuǎn)泵 100L/min
  	油霧捕集器	油霧捕集器 OMT-100A
  操作系統(tǒng)	主閥	插板閥
  	補(bǔ)助閥	三通閥
  	自動泄露閥	選項(xiàng)
  	操作	手動
  控制系統(tǒng)	RF電源	Max 300W (0～300Ｗ可変）
  	皮拉尼真空計(jì)	G-TRAN
  	電離真空計(jì)	選項(xiàng)
  設(shè)置	*大尺寸	764mm（W）×723mm（D）×1648mm（H）
  	質(zhì)量	260kg

  效用

  型式	RFS-201
  所要電氣量	200V 單相 50/60Hz 2.8kVA
  接地端子	A種 （接地抵抗値 10Ω以下）
  所要水量	5.0 L／min　(水溫:25℃以下、水圧:200～300kPa（表壓）)
  組合連接 （電源）	橡膠絕緣軟電纜（帶R2-5壓接端子）　4m
  組合連接 （接地）	接地電纜（銅板）　4m
  組合連接（水）	滌綸軟管（內(nèi)徑9mm×外徑15mm）、4m（2本）

  尺寸圖

  

  真空槽內(nèi)部構(gòu)成

  基本構(gòu)成

  

  [1]	罩子
  [2]	陰極
  [3]	陽極
  [4]	快門
  [5]	電流導(dǎo)入端子
  [6]	熱電偶導(dǎo)入端子
  [7]	真空計(jì)端口
  [8]	支架
  [9]	背板
  [10]	靶材
  [11]	準(zhǔn)備端口
  [12]	正門

• 通過傳統(tǒng)濺射，濺射速度可達(dá)到20nm/min（SiO2）

  支架圖

  [標(biāo)準(zhǔn)]

  

  ※我們將根據(jù)您的研發(fā)目的進(jìn)行定制。

  可選配件

  ●液體氮?dú)獠都?	●電離真空計(jì)
  ●磁控電極	●內(nèi)置捕集器（OMI-100）
  ●渦輪分子泵	●DC電源
  ●導(dǎo)入氣體2系統(tǒng)，3系統(tǒng)	●油回轉(zhuǎn)泵自動泄露閥