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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)：VPC-260F
產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
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簡(jiǎn)單介紹：

將管架上的主泵，輔助泵，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測(cè)量口等等必要的部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。適用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

詳情介紹：

將管架上的主泵，輔助泵，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測(cè)量口等等必要的部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

特點(diǎn)

玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發(fā)電源和電極，可同時(shí)蒸發(fā)或多層蒸發(fā)。
蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪，移動(dòng)更為容易。

規(guī)格

型式		VPC-260F
真空性能	極限壓力	1.3×10^-３Pa 6.6×10^-４Pa（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)）
真空性能	排氣時(shí)間	4.0×10^-３Pa/20min 1.3×10^-３Pa/20min（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)）
真空槽	真空槽	玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ300mm×高300mm)
	饋通圈	8端口(側(cè)面8)
	基板推薦尺寸?*大尺寸^※1	□50mm ? □140mm（Max）
電源系統(tǒng)	蒸發(fā)電極構(gòu)成	1點(diǎn)式
電源系統(tǒng)	蒸發(fā)電源?數(shù)量	SEREM　PSE-150C　1 式 0～10V 150A（Max)
排氣系統(tǒng)	主泵	油擴(kuò)散泵（空冷）　200L/sec
	液體氮?dú)獠都?/span>	有
	補(bǔ)助泵	油回轉(zhuǎn)泵　100L/min
	油霧捕集器	選項(xiàng)
操作系統(tǒng)	主閥	插板閥
	補(bǔ)助閥	三通閥
	自動(dòng)泄露閥	選項(xiàng)
	操作	手動(dòng)
控制系統(tǒng)	皮拉尼真空計(jì)	選項(xiàng)
控制系統(tǒng)	電離真空計(jì)	選項(xiàng)
設(shè)置	*大尺寸　　本體	530mm（W）×550mm（D）×1135mm（H）
	電源	480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H）
	質(zhì)量　　　　本體	75kｇ
	電源	40kg

※1：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時(shí)的值。

效用

型式		VPC-250F
所要時(shí)間	本體	100V 單相 50/60Hz 1.35kVA
所要時(shí)間	電源	200V 單相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子		Ｄ種（接地抵抗値 100Ω以下）
組合連接	本體　1Φ　100V	橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭） 2m
組合連接	電源　1Φ　200V	橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子） 2m

尺寸圖

VPC-260F

蒸發(fā)電源 SEREM

真空槽內(nèi)部構(gòu)成

基本構(gòu)成

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