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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

  • 產(chǎn)品型號(hào)：EGK?3
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
EGK-3型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實(shí)際成果，為提高性能和可靠性而開發(fā)。 擁有*大輸入功率5kW的坩堝。 坩堝容量是3cc、適合實(shí)驗(yàn)及小規(guī)模生産用。
詳情介紹：
EGK-3型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實(shí)際成果，為提高性能和可靠性而開發(fā)。
擁有*大輸入功率5kW的坩堝。
坩堝容量是3cc、適合實(shí)驗(yàn)及小規(guī)模生産用。

特點(diǎn)

  • 采用容量3cc的坩堝，適合小規(guī)模生產(chǎn)。
  • 由于電子束被電磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn)，二次電子對(duì)成膜體的影響非常小。
  • 即使是升華材料，掃描X軸和Y軸上的束斑也可以消除點(diǎn)蝕現(xiàn)象并可以順利蒸發(fā)。（日本**831485號(hào).843447號(hào)）
  • 電子束225°偏轉(zhuǎn)，燈絲不會(huì)從蒸發(fā)材料暴露，因此壽命很長(zhǎng)。
  • 發(fā)射器組件易于拆開，更換燈絲，絕緣體等非常容易。

規(guī)格

加速電壓 -4kV～-10kV DC
束電流 0.5A max (at -10kV)
*大輸入功率 5kW（-10kV、0.5A）
X軸偏轉(zhuǎn)線圈 0.4～3.5A -18VDCmax
22Ω（20℃）
燈絲 0～6V AC 40Amax
坩堝 容量 2.6cc
尺寸 21Φ×15.6Φ×10H
電子束偏向角度 225°
有效蒸發(fā)角度 90°以上
蒸發(fā)速度 鋁5kW時(shí)　0.5μm/min以上
（爐膛上方250H）
冷卻水量 坩堝 8L/min以上 0.7MPa（*大圧力）
線圈 1L/min以上 0.7MPa（*大圧力）
水溫 15～25℃
外形尺寸 110W×126H×207D
重量 約4kg
適用電源 HPS-510S、HPS-1000N、HPS-1600F
備注 建議使用電阻率為5kΩ·cm或更高的水。
Y軸偏轉(zhuǎn)線圈 0～±1.2A ±12VDVmax
（可選） 1.8Ω（20℃）
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