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- KYOWA協(xié)和工業(yè)
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- INTECS
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- MORITEX茉麗特
- VIBRA新光電子
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- JISC積世克
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- NIPPONMUKI無(wú)機(jī)
- YAMADA山田
- TEAC泰克
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- TAKIKAWA瀧川
- TSURUGA鶴賀
- TOKYOKEISO東京計(jì)裝
- SEN日森
- KASUGA春日電機(jī)
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- SR三木工廠
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- KRK笠原理化
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- AITEC艾泰克
- KITZ北澤
- ONOSOKKI小野傳感器
- SAKAGUCHI坂口電熱加...
- KOYO光陽(yáng)
- LUBE泵閥
- KURABO久保田脫泡機(jī)
- MCRL村上分光測(cè)色儀
- NIPPONMUKI無(wú)機(jī)過(guò)濾...
- ORC歐阿希照度計(jì)
- USHIO牛尾UV燈
- SAKURAI櫻井打印紙
- KEYENCE基恩士
- LUCEO魯機(jī)歐應(yīng)力儀
- SANEI三榮電機(jī)
- NPM日脈電機(jī)馬達(dá)
- NBK鍋屋工裝夾具
- AKRIBIS雅克貝斯精密平...
- COSMO科斯莫檢漏儀
- SAMJUNG禪才離子風(fēng)棒
- SUMITA住田光纖
- HAYASHI林時(shí)計(jì)光纖光源
- METROL美德龍
- VALQUA華爾卡配管部品
- CHINO千野溫濕度計(jì)
- HIKARIYA光屋檢查燈
- HEIDON新東攪拌機(jī)
- SOLAX/SERIC索納克...
- SANKO山高膜厚計(jì)
- ITOH伊藤粉碎機(jī)
- NEWKON新光針孔機(jī)
- ONOSOKKI小野編碼器
- ELMEX安科生物涂抹棒
- AxoScan美國(guó)
- MITSUI ELECTRI...
- FUJICOM富士
- HAYASHI林時(shí)計(jì)
- Navitar納維塔爾鏡頭
- KANETEC強(qiáng)力脫磁裝置
- NPM日本脈沖電機(jī)
- YUASA尤阿薩折彎?rùn)C(jī)
- UNILAM優(yōu)尼光紫外燈
- POLARION普拉瑞探照燈
- AND艾安得
- JIKCO吉高濃度計(jì)
- IIJIMA飯島酸素計(jì)
- SPAIR日信工具
- Axometrics美國(guó)
- ASAHI旭精工
- DSK電通熒光燈
- DNL**燈
- ORIHARA折原應(yīng)力儀
- NIKKATO日陶研磨球
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
EGL-110型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實(shí)際成果，為提高性能和可靠性而開(kāi)發(fā)。
擁有*大輸入功率16kW的坩堝，坩堝為110cc的大容量，可對(duì)應(yīng)厚膜的高速蒸發(fā)。
詳情介紹：
EGL-110型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實(shí)際成果，為提高性能和可靠性而開(kāi)發(fā)。擁有*大輸入功率16kW的坩堝，坩堝為110cc的大容量，可對(duì)應(yīng)厚膜的高速蒸發(fā)。
特點(diǎn)
- 采用大容量110cc坩堝，可實(shí)現(xiàn)大量成膜。
- 由于電子束被電磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn)，二次電子對(duì)成膜體的影響非常小。
- 即使是升華材料，掃描X軸和Y軸上的束斑也可以消除點(diǎn)蝕現(xiàn)象并可以順利蒸發(fā)。
- 電子束270°偏轉(zhuǎn)，燈絲不會(huì)從蒸發(fā)材料暴露，因此壽命很長(zhǎng)。
- 發(fā)射器組件易于拆開(kāi)，更換燈絲，絕緣體等非常容易。
規(guī)格
| 加速電壓 | -4kV～-10kV | |
| 束電流 | 1.6Amax (at-10kV) | |
| *大入力 | 16kW (-10kV, 1.6A) | |
| X軸偏轉(zhuǎn)線圈 |
0.4～3.5A -18VDCmax 2.8Ω（20℃） |
|
| Y軸偏轉(zhuǎn)線圈 |
0～±1.2A ±12VDCmax 0.9Ω（20℃）2個(gè) |
|
| 燈絲 | 0～6VAC 40Amax | |
| 坩堝 | 容量 | 110cc |
| 尺寸 | 75Φ×59Φ×32H | |
| 電子束偏轉(zhuǎn)角度 | 270° | |
| 有效蒸發(fā)角度 | 120°以上 | |
| 蒸發(fā)速度 | 鋁16kW時(shí) | 4.5μm/min以上（爐膛上250H） |
| 冷卻水量 | 19L/min以上、0.7MPa（*大圧力） | |
| 水溫 | 15℃～25℃ | |
| 外形尺寸 | 136W×90H×220D | |
| 重量 | 約15kg | |
| 適用電源 | HPS-1000N, HPS-1600F | |
| 備考 |
1. 可以連接送絲機(jī)。 2. 建議使用電阻率為5kΩ·cm或更高的冷卻水 |
|
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