RFS-N系列是輸出頻率13.56MHz、功率0.5kW/1/kW/3kW/5kW的等離子工藝用RF電源。

裝載高效率RF放大器實(shí)現(xiàn)了小型·輕量化。
另外，RF電源內(nèi)置自動(dòng)匹配控制器功能，僅從主機(jī)單元就可以對(duì)RF電源進(jìn)行電力控制及匹配系統(tǒng)控制。

特點(diǎn)

• 高效率
  配有高功率轉(zhuǎn)換效率的RF電路以節(jié)省能量。
• 快速自動(dòng)匹配
  快速算法實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)匹配。
• RF電源內(nèi)置自動(dòng)匹配功能
  只有主機(jī)才能進(jìn)行匹配系統(tǒng)控制。
  可通過內(nèi)置控制器手動(dòng)控制RF電源和匹配器
• 靈活的控制
  外部模擬控制，可實(shí)現(xiàn)串聯(lián)通信控制。
• 可靠性高
  對(duì)作為設(shè)備制造商所積累的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)。

用途

• 濺射設(shè)備
• CVD設(shè)備
• 等離子蝕刻設(shè)備
• RF離子源
• 中和劑

規(guī)格

[發(fā)電機(jī)]