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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科RF電源 / 匹配切換機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：RMG-1303
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
RMG-1303是適用于RF濺射、CVD、刻蝕等，等離子工藝的13.56MHz，300W功率的匹配器一體式RF電源。匹配器和RF電源一體化設(shè)計(jì)，體積小、重量輕。適用于從研究開發(fā)設(shè)備到量產(chǎn)設(shè)備的廣泛領(lǐng)域。
詳情介紹：
RMG-1303是適用于RF濺射、CVD、刻蝕等，等離子工藝的13.56MHz，300W功率的匹配器一體式RF電源。匹配器和RF電源一體化設(shè)計(jì)，體積小、重量輕。適用于從研究開發(fā)設(shè)備到量產(chǎn)設(shè)備的廣泛領(lǐng)域。

特點(diǎn)

  • 可通過低輸出功率進(jìn)行控制
    可通過1W的低輸出功率進(jìn)行控制
  • 標(biāo)準(zhǔn)配備脈沖RF輸出功能
    標(biāo)準(zhǔn)搭載500Hz～100KHz的脈沖RF輸出功能，可在低功率下進(jìn)行控制
  • 標(biāo)配外部同步端子
    標(biāo)準(zhǔn)搭載端子（BNC端子），用于疊加操作的13.56MHz同步信號(hào)的輸入和輸出
  • AC100V至AC220V 的廣泛輸入
    單相 100V 至 220V / 50Hz 至 60Hz 的廣泛輸入
  • 體積小、重量輕
    200mm×200mm×350mm / 10Kg的小型輕量電源
  • 支持各種規(guī)格
    RoHS,CE,KC,SEMI-F47兼容

用途

  • 濺射設(shè)備
  • CVD設(shè)備
  • 等離子清洗設(shè)備
  • 等離子刻蝕設(shè)備
  • 等離子去膠設(shè)備
  • RF離子源
  • 射頻中和器

規(guī)格

電源功能部

額定輸入電壓 AC100V～220V(單相 50～60Hz)
額定輸入容量 700VA
泄漏電流 5mA 以下
輸入接口 IEC60320-C14
振蕩頻率 13.56MHz±0.01% *1
額定行波功率 300W (50Ω負(fù)載時(shí))
額定反射波功率 80W
功率穩(wěn)定性 ±1%以內(nèi)或±2W以內(nèi)的較大值(50Ω負(fù)載)
冷卻方式 風(fēng)扇強(qiáng)制空冷

*1 可輸出500Hz～100KHz的脈沖RF

匹配器功能部分

額定功率 300W
額定電流 10Arms
額定電壓 2500Vpp/±2500Vdc(標(biāo)準(zhǔn)) *2
輸出電極 2-M4(標(biāo)準(zhǔn))?N?HN?DIN7/16 *3
匹配精度 VSWR1.2或者3W以下

*2 可選擇變更額定電壓
*3 可選擇更改為連接器輸出類型

尺寸圖 


RMG1303_size.png


	




        

    



 
    




                            

    

    

        

    

        

            產(chǎn)品留言
        

        

            

                標(biāo)題
                

                    
                

            


            

                聯(lián)系人
                

                    
                

            

            

                聯(lián)系電話
                

                    
                

            


            

                內(nèi)容
                

                    
                

            

            

                驗(yàn)證碼
                

                    
                

                
                點(diǎn)擊換一張
            

            

                
                
            

            

                注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
            

        

    




    




                        

                    

                

            

        

    

                                            

                                        

                                    

                                

                            

                        

                    

                

                

                    

                        

                            

                                

                                    
                                

                                

                                    

                                        

                                            

                                                

                                                    

                                                        
                                                    

                                                    

                                                        

                                                            

                                                                

                                                                    

                                                                        
                                                                        
                                                                        
                                                                    

                                                                    

    

    

          









      

        
      


    




                                                                

                                                            

                                                        

                                                    

                                                

                                            

                                        

                                    

                                

                            

                        

                    

                

            		 	

		 		
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