特點

• 高控制精度
• 即使在10％或更低的低功率區(qū)域內(nèi)，也可以實現(xiàn)設(shè)定值±1％的高精度輸出
• 寬精度保證
• 1～100%的寬功率精度保證
• 重量輕?節(jié)省空間
• 輕巧，節(jié)省空間的設(shè)計，安裝更方便
• 不需要冷卻水
• 強制空冷系統(tǒng)，不需要冷卻水。
• 高可靠性
• 作為設(shè)備制造商的經(jīng)驗累積成果。

  用途

• R&用于濺射設(shè)備 ?各種成膜設(shè)備的偏壓電源

• 規(guī)格

  型		DC-2型	DC-4型
  輸入規(guī)格	額定輸入電壓	AC208V/220V
  	輸入電壓波動范圍	180 至 242VAC
  	相位、頻率	三相，50/60Hz
  	輸入容量	3.5kVA	6.2kVA
  輸出規(guī)格	*大額定功率	2kW	4千瓦
  	額定電流	5安培	10安培
  	額定電壓	800伏
  	輸出極性	負極性
  	異常放電控制	逆變器停止關(guān)閉或諧振停止
  控制	控制方式	恒功率控制（P控制）/恒流控制（I控制）/恒壓控制（V控制）
  	控制精度	設(shè)定值的 ±1%（在我們的規(guī)定電阻值中。
  	控制補償范圍	恒功率控制，額定功率值的1-100%
  	并聯(lián)操作	無
  	接口	模擬/定量，RS-232C 或 RS-485
  冷卻方式		強制風(fēng)冷
  尺寸（W×D×H）		241mm×610mm×133mm（不含突起部分）
  重量		15公斤
  適用標準		CE/SEMI F47/RoHS

  環(huán)境工作溫度 5°C ~ 40°C（無凝露）
  操作環(huán)境：避免陽光直射、高溫、灰塵、振動，且無腐蝕性氣體。