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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科嵌入型分光橢偏儀

  • 產(chǎn)品型號：UNECS-1M
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。
詳情介紹：
UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。
采用獨特的測量方式，實現(xiàn)了高速測量和機體的小型化。
我們的產(chǎn)品陣容包括獨特的便攜式，自動式和對應真空環(huán)境的設備內(nèi)置式類型。
UNECS-1M的傳感器單元輕量、緊湊，能夠簡單嵌入成膜設備等。
除了通常的大氣壓類型以外，也有對應真空環(huán)境的類型。

特點

  • 高速測定：
    獨特的快照方法可實現(xiàn)高達20 ms的高速測量。
  • 適用于可見光譜：
    波長范圍可選標準類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。
  • 緊湊型傳感器單元：
    光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的光學部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護。
  • 豐富的產(chǎn)品陣容：
    產(chǎn)品陣容應用廣泛，包括如獨特的便攜類型，手動/自動平臺類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。

用途

  • 透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數(shù)的測量

規(guī)格

波長范圍 530～750nm、380～760nm（選擇）
點徑 Φ1mm、Φ0.3mm（選擇）
入射角度 70o固定
膜厚再現(xiàn)性 1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范圍 1nｍ～2μｍ
測量時間 受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms
設置環(huán)境 大氣、真空（選擇）
機器構(gòu)成 測量頭、控制器BOX、光源單元、使用說明書（CD）、解析軟件（CD）
＊控制PC不含在標準中
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