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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ULVAC愛(ài)發(fā)科分光橢偏儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):UNECS-3000A
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛(ài)發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
UNECS系列是可以高速、高精度測(cè)量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用獨(dú)特的測(cè)量方式,實(shí)現(xiàn)了高速測(cè)量和機(jī)體的小型化。
詳情介紹:
UNECS系列是可以高速、高精度測(cè)量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用獨(dú)特的測(cè)量方式,實(shí)現(xiàn)了高速測(cè)量和機(jī)體的小型化。
我們的產(chǎn)品陣容包括獨(dú)特的便攜式,自動(dòng)式和對(duì)應(yīng)真空環(huán)境的設(shè)備內(nèi)置式類型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通過(guò)自動(dòng)R-θstage和自動(dòng)對(duì)焦功能,快速自動(dòng)測(cè)量整個(gè)樣品表面的膜厚,并通過(guò)彩色地圖顯示膜厚分布。

特點(diǎn)

  • 高速測(cè)定:
    獨(dú)特的快照方法可實(shí)現(xiàn)高達(dá)20 ms的高速測(cè)量。
  • 適用于可見(jiàn)光譜:
    波長(zhǎng)范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類型(530nm至750nm)和可見(jiàn)光譜類型(380nm至760nm)。
  • 緊湊型傳感器單元:
    光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護(hù)。
  • 豐富的產(chǎn)品陣容:
    產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛,包括如獨(dú)特的便攜類型,手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。

用途

  • 透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數(shù)的測(cè)量

規(guī)格

型號(hào) 1500A 2000A 3000A
波長(zhǎng)范圍 530~750nm、380~760nm(選擇)
點(diǎn)徑 Φ1mm、Φ0.3mm(選擇)
入射角度 70o固定
膜厚再現(xiàn)性 1σ = 0.1nm
膜厚范圍 1nm ~ 2μm
測(cè)量時(shí)間 受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms
平臺(tái) Φ150mm自動(dòng) Φ200mm自動(dòng) Φ300mm自動(dòng)
自動(dòng)測(cè)量 200點(diǎn) 200點(diǎn) 2,000點(diǎn)
控制PC 筆記本類型(帶操作/分析軟件)
機(jī)器構(gòu)成 測(cè)量本體、控制器、操作PC(筆記本型)、使用說(shuō)明書(shū)(CD)
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