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產品詳情
  • 產品名稱:ULVAC愛發(fā)科分光橢偏儀

  • 產品型號:UNECS-1500M
  • 產品廠商:ULVAC愛發(fā)科
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簡單介紹:
UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。
詳情介紹:
UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用獨特的測量方式,實現了高速測量和機體的小型化。
我們的產品陣容包括獨特的便攜式,自動式和對應真空環(huán)境的設備內置式類型。
UNECS-1500M裝備有操作性好的對應Φ150mm的手動式R-θstage,易于定位測量位置。

特點

  • 高速測定:
    獨特的快照方法可實現高達20 ms的高速測量。
  • 適用于可見光譜:
    波長范圍可選標準類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。
  • 緊湊型傳感器單元:
    光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護。
  • 豐富的產品陣容:
    產品陣容應用廣泛,包括如獨特的便攜類型,手動/自動平臺類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環(huán)境的內置類型。

用途

  • 透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數的測量

規(guī)格

波長范圍 530~750nm、380~760nm(選擇)
點徑 Φ1mm、Φ0.3mm(選擇)
入射角度 70o固定
膜厚再現性 1σ = 0.1nm
膜厚范圍 1nm~2μm
測量時間 受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms
平臺 Φ150mm手動式R-θ平臺
控制PC 筆記本類型(帶操作/分析軟件)
機器構成 測量本體(手動平臺、控制器BOX付き)
光源單元、操作PC(筆記本型)、使用說明書(CD)
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