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產品詳情

  • 產品名稱：ULVAC愛發(fā)科分光橢偏儀

  • 產品型號：UNECS?Portable
  • 產品廠商：ULVAC愛發(fā)科
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簡單介紹：
UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。
詳情介紹：
UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。
采用獨特的測量方式，實現(xiàn)了高速測量和機體的小型化。
我們的產品陣容包括獨特的便攜式，自動式和對應真空環(huán)境的設備內置式類型。
UNECS-Portable，測量部的重量只有2.2kg重量輕且緊湊，是易于攜帶的便攜式類型。
可用于真空設備現(xiàn)場驗收試驗，可以通過分離樣品臺直接放在樣品上進行大尺寸樣品的測量。

特點

  • 高速測定：
    獨特的快照方法可實現(xiàn)高達20 ms的高速測量。
  • 適用于可見光譜：
    波長范圍可選標準類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。
  • 緊湊型傳感器單元：
    光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護。
  • 豐富的產品陣容：
    產品陣容應用廣泛，包括如獨特的便攜類型，手動/自動平臺類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環(huán)境的內置類型。

用途

  • 透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數(shù)的測量

規(guī)格

波長范圍 530 ～ 750nm、380 ～ 760nm（選擇）
點徑 Φ1mm、Φ0.3mm（選擇）
入射角度 70o固定
膜厚再現(xiàn)性 1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范圍 1nm ～ 2μｍ
測量時間 受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms
平臺 固定類型（Φ150mm以下、可拆卸）
控制PC 筆記本類型（帶操作/分析軟件）
機器構成 測量本體（帶固定臺）、控制器BOX、光源單元
操作PC（筆記本型）、使用說明書（CD）
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