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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科殘留氣體分析儀

  • 產(chǎn)品型號：BGM2-102
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
ULVAC的新型殘留氣體分析儀(RGA)，革 命性的簡單易操作。它是響應各種生產(chǎn)線設備技術的要求而出現(xiàn)的工藝監(jiān)控器的新標準。*適合真空蒸發(fā)裝置和各種真空爐的設備管理。
詳情介紹：
ULVAC的新型殘留氣體分析儀(RGA)，革 命性的簡單易操作。它是響應各種生產(chǎn)線設備技術的要求而出現(xiàn)的工藝監(jiān)控器的新標準。*適合真空蒸發(fā)裝置和各種真空爐的設備管理。

特點

  • 性價比優(yōu)異的通用規(guī)格
  • 測量質量范圍 1～100 amu
  • 顯示部分一體化設計???無需電腦也可進行測量
  • 操作簡單 - One Click機能???對每個人來說都很容易，不需要復雜的操作
  • 增強檢漏功能
  • 可以測量總壓力
  • 標準搭載Qulee QCS軟件
  • 符合CE

用途

  • 真空蒸發(fā)設備和濺射設備等成膜設備的殘留氣體分析
  • 高真空排氣設備的殘留氣體分析
  • 冷凍干燥設備的殘留氣體分析
  • 研究開發(fā)用途的各種氣體分析

規(guī)格

分辨率 M/△M=1M（10% P.H.）

型 BGM2-101型 BGM2-201型 BGM2-102型 BGM2-202型
大容量過濾器類型 四極桿
質量范圍 1~100 AMU 1~200 AMU 1~100 AMU 1~200 AMU
探測器類型 Faraday cup
EM tube
Faraday cup
敏感性 10-7A/PA系統(tǒng) 4A/PA型
*小可檢測分壓 10-8Pa 10-12Pa
*大工作壓力 1x10-2Pa
總壓力函數(shù) 有能力/10-2?10-5Pa
一鍵式功能 支持 /He/H2O/N2/O2/任何氣體
一鍵式檢漏功能 Capable
電源輸入 DC24V±10% 50W
傳感器*高工作溫度 120°攝氏度（248°華氏度）
*高烘烤溫度（去掉電子元件） 250°攝氏度（482°華氏度）
工作溫度范圍 10 至 40°C（50 至 104°F）
軟件 Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）適用
適用標準 CE
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