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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科耐腐蝕性氣體監(jiān)測(cè)儀

  • 產(chǎn)品型號(hào)：RGM2-201F
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
ULVAC愛發(fā)科反應(yīng)式過程氣體監(jiān)測(cè)儀RGM2-201F，北崎有售
詳情介紹：

ULVAC愛發(fā)科反應(yīng)式過程氣體監(jiān)測(cè)儀RGM2-201F

ULVAC愛發(fā)科反應(yīng)式過程氣體監(jiān)測(cè)儀RGM2-201F


CVD/ALD/Eetche 工藝型號(hào)：RGM2-201F

愛發(fā)科

型號(hào)：RGM2-201F 的介紹、購買和考慮

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型號(hào)：RGM2-201F 支持頁面

榮獲 2023 年日本真空工業(yè)協(xié)會(huì)“真空組件大獎(jiǎng)”


反應(yīng)式過程氣體監(jiān)測(cè)儀 Qulee RGM2-201F 是一款帶有差壓排氣系統(tǒng)的過程監(jiān)測(cè)儀，適用于“型號(hào)：Qulee”的蝕刻、CVD 和 ALD 設(shè)備等反應(yīng)過程。 ULVAC 獨(dú)特的離子源和排氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)對(duì)反應(yīng)氣體具有出色的耐腐蝕性，可實(shí)現(xiàn)長期穩(wěn)定測(cè)量。

長處

  • 排氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)是集成的，可以垂直安裝，并且世界上*小的占地面積使得即使在空間有限的生產(chǎn)線上也可以監(jiān)測(cè)反應(yīng)氣體。
  • 在維護(hù)期間更換耗材套件的速度得到了顯著提高，兩名工人的 120 分鐘工作可以由一個(gè)人在 10 分鐘內(nèi)完成。
  • 雙燈絲即使在**根燈絲斷裂的情況下也能在不停止生產(chǎn)線的情況下進(jìn)**體分析。
  • 觸摸面板用于實(shí)時(shí)檢查狀態(tài)。
  • 從啟動(dòng)到測(cè)量的作只能在計(jì)算機(jī)上完成。
  • 得益于我們專有的帶磁體的閉式離子源，即使在反應(yīng)過程中，也可以進(jìn)行長期穩(wěn)定的測(cè)量。
  • 電離室氣體解離少，靈敏度高，僅使用法拉第杯即可實(shí)現(xiàn)高靈敏度氣體分析。
  • 緊湊的流路控制閥，可防止熱反應(yīng)引起的分解和吸附。
  • 縮短了從工藝室到離子源的距離，并且可以快速響應(yīng)分解。
  • 加強(qiáng)預(yù)防性維護(hù)功能 離子源和二次電子倍增管的
    預(yù)防性維護(hù) 安裝
    分析管的可追溯性功能（**號(hào) 5016031）
  • 標(biāo)準(zhǔn)軟件與 Windows 8/10/11 兼容。

用

CVD、ALD 和蝕刻設(shè)備

  • 過程中的反應(yīng)氣體監(jiān)測(cè)
  • 蝕刻清洗過程的端點(diǎn)監(jiān)控
    器
  • 殘余氣體測(cè)量

規(guī)范

傳感器

質(zhì)量數(shù)范圍 （amu） 1~200
分辨率 （m/ΔM） M/ΔM=1M（10%P.H.）
探測(cè)器 法拉第杯 （FC）
靈敏度 （A/Pa） ＊1 1e-5A/Pa（引入直接孔口連接，Ie = 50uA） N2
氣體 = 5e-4Pa 在 Ee 50V
*小感應(yīng)分壓 （Pa） ＊1 E-10Pa （EE50V， IE500uA）
總壓力測(cè)量功能 *1 和
全壓力測(cè)量范圍 *1 1E-3 ~ E-6 PA 單元
離子源 帶磁體閉式離子源
燈絲 Ir/Y2O3 2（其中 1 個(gè)是備用的）
電離電壓 （EE; eV） 20~70eV （Ie50uA 推薦 50V 設(shè)置）
發(fā)射電流 （IE;uA） 50uA/500uA（EE50V，過程測(cè)量推薦 50uA）

*1 備用燈絲 （FIL2） 不適用。

差速器排氣系統(tǒng)

連接法蘭 VCR1/2“ 螺母等效
規(guī)格 壓力 可在 0.5~30Pa/10~500Pa 中選擇
渦輪分子泵 UTM70B（70升/秒）
Foreline 泵 無
前級(jí)液進(jìn)口：KF16
保證前級(jí)壓力：500Pa 或更低 用于前級(jí)壓力檢查的
皮拉尼真空計(jì)：SW100-A
用于設(shè)備壓力監(jiān)測(cè)的真空計(jì) 電容壓力計(jì) “型號(hào)： CCMT”

效用

電源電壓 AC100~120V/6A，AC200~220V/3A
壓縮空氣 干燥 N2：0.4MPa

其他

質(zhì)量 20公斤
控制單元 觸控面板
塊式加熱裝置 110°C±10°C

選擇

分析管 RGM-AN201F 系列 用于 RGM2-201F
離子源 RGM-IS01F 系列 用于 RGM2-201F
耗材套件 RGM-FL01F 系列 用于 RGM2-201F
孔 RGM-OF030F 系列 RGM2-201F 用 （工作壓力范圍： 0.5~30Pa）
孔 RGM-OF010F 系列 RGM2-201F 用 （工作壓力范圍 ： 10~500Pa）



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