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產品詳情

  • 產品名稱：ULVAC愛發(fā)科升溫脫離氣體分析裝置

  • 產品型號：TDS-M202R
  • 產品廠商：ULVAC愛發(fā)科
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簡單介紹：
使用質譜儀對脫離氣體定性分析，通過四極質譜儀分析紅外鍍金聚焦爐使試料升溫時，試料溫度與放出氣體的關系。
詳情介紹：
使用質譜儀對脫離氣體定性分析，通過四極質譜儀分析紅外鍍金聚焦爐使試料升溫時，試料溫度與放出氣體的關系。

特點

  • 質譜分析可以在10 -5 Pa的高真空下進行測量。
  • 紅外燈加熱，石英反應管是冷壁，幾乎沒有排出的氣體。
  • 具有從高速加熱到低速加熱的廣泛設置范圍，可實現(xiàn)多步加熱和循環(huán)加熱。

用途

  • 真空油脂、O-ring等各種真空材料的評估
  • 半導體晶圓，芯片評估
  • 合金，陶瓷，固體材料等的微量氣體分析

規(guī)格

溫度范圍 室溫 ~ 1000°C
樣本量 □20 × t2 （毫米）
大氣層 真空
加熱方式 拋物面反射紅外管加熱方法
溫度傳感器 熱電偶 （JIS “K”）
**真空 范圍 10-5Pa（烘烤 8 小時后）
質量量的測量范圍 1~200AMU
**衛(wèi)士 冷卻水 ? 漏電 （ELB）
敏感性 4A/PA型
分辨率 M/△M=1M（10%P.H.）
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