特點

• 可在10秒內(nèi)升至1800℃的超高溫范圍
• 橢圓形反射面上安裝大功率燈的聚光燈
• Cold Wall結(jié)構(gòu)可以快速加熱/冷卻和清潔加熱
• 桌面型，加熱爐，腔室，溫度控制器一體化
• 通過連接了USB的PC可輕松輸入溫度程序
• 加熱時的溫度數(shù)據(jù)可以顯示在計算機屏幕上（可以保存為文本文件）

用途

• SiC(GaN)功率器件工藝氧化膜形成和活化退火的研究開發(fā)
• 其他半導體的研究開發(fā)
• 玻璃基板、陶瓷、復合材料等的熱處理
• 陶瓷材料的熱沖擊試驗
• 各種熱處理試驗，如高熔點金屬材料的燒結(jié)等
• 作為溫度梯度爐
• 作為氣體分析的加熱爐

規(guī)格

系統(tǒng)圖

1. 用于燈泡冷卻空氣氣體入口
2.氣體出口
3.N₂ 氣體入口
4.氬氣入口
5.燈
6. 透明石英保護管
7. 透明石英保護管
8. 將樣品移入/移出爐子的滑塊（手動操作）

加熱性能

*高實現(xiàn)溫度

電源：7kW（*大）
測量：W-Re熱電偶
加熱氣氛：N2 1L/min
達到溫度：2157°C（加熱至2000°C時約200°C/秒）

快速加熱控制

溫度配方：200°C/s 保溫時間5分鐘加熱
氣氛：N₂ 100cc/min
樣品架 ： 高純碳
樣品基座 ： 高純碳

樣品架和基座

效用

選擇

• 真空排氣系統(tǒng)（RP、DRY、TMP等）
• 燃氣管道系統(tǒng)（從**系統(tǒng)開始）
• 冷卻水循環(huán)器
• 冷卻空氣發(fā)生器系統(tǒng)
• 手持式點焊機 （HS-9000）
• 手持式電弧焊機（HA-1H）