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簡(jiǎn)單介紹：

將管架上的主泵?輔助泵?閥門配管?電氣系統(tǒng)?圧力測(cè)量口等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。適用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

詳情介紹：

將管架上的主泵?輔助泵?閥門配管?電氣系統(tǒng)?圧力測(cè)量口等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

特點(diǎn)

型		VPC-061型
真空性能	極限壓力	1.3×10^-3 年利率 6.6×10^-4Pa（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)）
真空性能	排氣時(shí)間	4.0×10^-3Pa/20分鐘 1.3×10^-3Pa/20min（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)）
真空槽	真空槽	玻璃鐘罩（Inner diameter Φ150mm× Height 200mm）
	饋通圈	3 口（底部 3 個(gè)）
	基板推薦尺寸?*大尺寸※1	□25mm ? □50mm（*大）
電源系統(tǒng)統(tǒng)	蒸發(fā)電極構(gòu)成	單點(diǎn)公式
電源系統(tǒng)統(tǒng)	蒸發(fā)電源?數(shù)量	SEREM PSE-150C?1 式 0~10V 150A（Max）
排氣系統(tǒng)統(tǒng)	主泵	油擴(kuò)散泵（空冷）　50L/sec
	液體氮?dú)獠都?/span>	有
	輔助泵	油回轉(zhuǎn)泵 20L/min
	油霧捕集器	選項(xiàng)
操作系統(tǒng)	主閥	蝶閥
	輔助閥	三通閥
	自動(dòng)泄露閥	ー
	操作	手動(dòng)
控制系統(tǒng)	皮拉尼真空計(jì)	選項(xiàng)
控制系統(tǒng)	電離真空計(jì)	選項(xiàng)
設(shè)置	*大尺寸 (本體)	434mm（寬）×422mm（深）×673mm（高）
	電源	480mm（寬）×435.3mm（深）×149mm（高）
	質(zhì)量　　　　本體	28公斤
	電源	40公斤

※1：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時(shí)的值。