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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ULVAC愛發(fā)科EB電源

  • 產(chǎn)品型號:HPS-1600F-DS100
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
ULVAC多年的技術(shù)積累和實際成果、具備穩(wěn)定的回路和高性能的EB電源。 配合EB槍控制器EGC-10GS使用、能對應(yīng)光學(xué)薄膜和金屬薄膜用EB槍。
詳情介紹:
ULVAC多年的技術(shù)積累和實際成果、具備穩(wěn)定的回路和高性能的EB電源。
配合EB槍控制器EGC-10GS使用、能對應(yīng)光學(xué)薄膜和金屬薄膜用EB槍。

特點

  • 不需要冷卻水
    強制空冷系統(tǒng),不需要冷卻水
  • 可靠性高
    作為設(shè)備制造商經(jīng)驗積累的成果
  • 簡易的操作性
    操作面板使用液晶觸摸屏,操作性得到提升。
  • 掃描波形變化
    可以在操作屏幕上創(chuàng)建各種光束掃描形式
  • 高速電弧中斷功能
    通過高速電弧中斷*大限度地減少成膜率
  • 低水平電弧控制功能(光學(xué)應(yīng)用可選)
    控制光學(xué)應(yīng)用中所產(chǎn)生的微小電弧以實現(xiàn)穩(wěn)定的成膜

用途

  • 金屬膜用真空沉積

規(guī)格

HPS-510S型 HPS-1600F-DS100
HPS-1600F-DS200
HPS-1600F-DS101
輸入規(guī)格 輸入電壓 三相,AC190~231V
輸入容量 7kVA的 21kVA 22kVA 21kVA
輸出規(guī)格 額定輸出功率 5kW 16kW
電壓 -4k~-10kV
紋波率 2%p-p以下(額定功率時)
光束電流 0~500mA 0~1600mA
冷卻方式 強制風(fēng)冷
尺寸
W×D×H
電源 480×620×300毫米 500×700×710毫米
噴槍控制器 480×480×149毫米
重量 電源 50公斤 113公斤 136公斤 113公斤
噴槍控制器 20公斤 17公斤
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