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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科光學膜用EB槍

  • 產(chǎn)品型號：EGO-406M
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
基于ULVAC多年的技術積累設計的高可靠性EB槍。
詳情介紹：
基于ULVAC多年的技術積累設計的高可靠性EB槍。

特點

  • 高性能偏轉(zhuǎn)線圈提供出色的掃描性能和穩(wěn)定，均勻的成膜工藝。

用途

  • 電子束蒸發(fā)的蒸發(fā)源

規(guī)格

型號 EGO-1G EGO-40M EGO-206M EGO-406M
光束偏轉(zhuǎn)角度 270°
坩堝數(shù)量 0 4 6 6
坩堝容量 - 10cc ×2 / 40cc ×2 20cc 40cc
冷卻水量 坩堝 - 10L/min 10L/min 10L/min
線圈 2L/min - - -
外形尺寸　W×D×H 168×285×174mm 170×309×174mm 200×339×176mm 200×339×176mm
重量 10kg 18kg 18kg 18kg
適用電源 HPS-1000N-G100/G200
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