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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

  • 產(chǎn)品型號：EGK-3M
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
EGK-3M型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實際成果，為提高性能和可靠性而開發(fā)。 擁有*大輸入功率5kW的4個切換式坩堝。 坩堝容量為2.9cc*4個、對應(yīng)任意多層膜蒸鍍。
詳情介紹：
EGK-3M型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實際成果，為提高性能和可靠性而開發(fā)。
擁有*大輸入功率5kW的4個切換式坩堝。
坩堝容量為2.9cc*4個、對應(yīng)任意多層膜蒸鍍。

特點

  • 采用容量2.9cc的4點切換坩堝可實現(xiàn)多層成膜。
  • 由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn)，二次電子對成膜體的影響非常小。
  • 即使是升華材料，掃描X軸和Y軸上的束斑也可以消除點蝕現(xiàn)象并可以順利蒸發(fā)。
  • 電子束225°偏轉(zhuǎn)，燈絲不會從蒸發(fā)材料暴露，因此壽命很長。
  • 發(fā)射器組件易于拆開，更換燈絲，絕緣體等非常容易。

規(guī)格

加速電壓 -4kV～-10kV
束電流 0.5A MAX
*大輸入功率 5kW（-10kV／0.5A）
X軸偏轉(zhuǎn)線圈 -0.4A～-3.5A／-18V DC MAX
約2.2Ω（20℃）
燈絲 0～12V AC
0～40A max
坩堝 數(shù) 4
容量 2.9cc
尺寸 21Φ×17.5Φ×10H
電子束偏向角度 225°
有效蒸發(fā)角度 90°以上
蒸發(fā)速度 0.6μm/min以上
鋁5kW，爐膛上方250H
冷卻水量 坩堝 8L/min以上 0.7MPa（*大圧力）
線圈 1L/min以上 0.7MPa（*大圧力）
水溫 15～25℃
外形尺寸 140W×126H×207D
重量 約5kg
適用電源 HPS-510S?HPS-1000N
備注 建議使用電阻率為5kΩ·cm或更高的水。
Y軸偏轉(zhuǎn)線圈（可選） 0～±1.2A／±12VDVmax
約1.7Ω（20℃）
備注 建議使用電阻率為5kΩ·cm或更高的水。
可以連接送絲機
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