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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

  • 產(chǎn)品型號:EGK?3
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛發(fā)科
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簡單介紹:
EGK-3型EB槍是基于ULVAC多年的技術積蓄和實際成果,為提高性能和可靠性而開發(fā)。 擁有*大輸入功率5kW的坩堝。 坩堝容量是3cc、適合實驗及小規(guī)模生産用。
詳情介紹:
EGK-3型EB槍是基于ULVAC多年的技術積蓄和實際成果,為提高性能和可靠性而開發(fā)。
擁有*大輸入功率5kW的坩堝。
坩堝容量是3cc、適合實驗及小規(guī)模生産用。

特點

  • 采用容量3cc的坩堝,適合小規(guī)模生產(chǎn)。
  • 由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn),二次電子對成膜體的影響非常小。
  • 即使是升華材料,掃描X軸和Y軸上的束斑也可以消除點蝕現(xiàn)象并可以順利蒸發(fā)。(日本**831485號.843447號)
  • 電子束225°偏轉(zhuǎn),燈絲不會從蒸發(fā)材料暴露,因此壽命很長。
  • 發(fā)射器組件易于拆開,更換燈絲,絕緣體等非常容易。

規(guī)格

加速電壓 -4kV~-10kV DC
束電流 0.5A max (at -10kV)
*大輸入功率 5kW(-10kV、0.5A)
X軸偏轉(zhuǎn)線圈 0.4~3.5A -18VDCmax
22Ω(20℃)
燈絲 0~6V AC 40Amax
坩堝 容量 2.6cc
尺寸 21Φ×15.6Φ×10H
電子束偏向角度 225°
有效蒸發(fā)角度 90°以上
蒸發(fā)速度 鋁5kW時 0.5μm/min以上
(爐膛上方250H)
冷卻水量 坩堝 8L/min以上 0.7MPa(*大圧力)
線圈 1L/min以上 0.7MPa(*大圧力)
水溫 15~25℃
外形尺寸 110W×126H×207D
重量 約4kg
適用電源 HPS-510S、HPS-1000N、HPS-1600F
備注 建議使用電阻率為5kΩ·cm或更高的水。
Y軸偏轉(zhuǎn)線圈 0~±1.2A ±12VDVmax
(可選) 1.8Ω(20℃)
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