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EGL-80M型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實(shí)際成果，為提高性能和可靠性而開(kāi)發(fā)。擁有*大輸入功率16kW的4個(gè)切換式坩堝，每個(gè)坩堝為110cc的大容量，可對(duì)應(yīng)厚膜的高速蒸發(fā)。

詳情介紹：

EGL-80M型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實(shí)際成果，為提高性能和可靠性而開(kāi)發(fā)。
擁有*大輸入功率16kW的4個(gè)切換式坩堝，每個(gè)坩堝為110cc的大容量，可對(duì)應(yīng)厚膜的高速蒸發(fā)。

特點(diǎn)

加速電壓		-4kV～-10kV DC
發(fā)射電流（MAX）		1.6A（加速電壓-10kV時(shí)）
*大輸入功率		16kW（-10kV、1.0A）
X軸偏轉(zhuǎn)線圈		2.5～16A MAX-12V DC 0.54Ω（室溫20℃內(nèi)）
Y軸偏轉(zhuǎn)線圈		0～±2A MAX±12V DC 1.2Ω×2（室溫20℃內(nèi)
燈絲		0～6V AC MAX 50A
坩堝	容量（數(shù)）	110cc (4個(gè))
	尺寸	75Φ×57Φ×32H
電子束偏向角度		270°
有效蒸發(fā)角度		100°以上
蒸發(fā)速度		4μm/min以上（A\| 16kW,坩堝真上250H）
冷卻水量		坩堝：20L/min以上（MAX 7kg/cm²）線圈：4L/min以上（MAX 7kg/cm²）
水溫		15～25℃
爐膛位置檢測(cè)機(jī)構(gòu) （可選）		接點(diǎn)數(shù)：NO接點(diǎn)　4式容量：50mA～1A MAX 50V AC
外形尺寸		318L×265W×168H
重量		30kg
適用電源		HPS-1600F（高功率規(guī)格）

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