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- AKRIBIS雅克貝斯精密平...
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- METROL美德龍
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- HEIDON新東攪拌機
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- KANETEC強力脫磁裝置
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- YUASA尤阿薩折彎機
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- POLARION普拉瑞探照燈
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- IIJIMA飯島酸素計
- SPAIR日信工具
- Axometrics美國
- ASAHI旭精工
- DSK電通熒光燈
- DNL**燈
- ORIHARA折原應(yīng)力儀
- NIKKATO日陶研磨球
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
EGL-110型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實際成果，為提高性能和可靠性而開發(fā)。
擁有*大輸入功率16kW的坩堝，坩堝為110cc的大容量，可對應(yīng)厚膜的高速蒸發(fā)。
詳情介紹：
EGL-110型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實際成果，為提高性能和可靠性而開發(fā)。擁有*大輸入功率16kW的坩堝，坩堝為110cc的大容量，可對應(yīng)厚膜的高速蒸發(fā)。
特點
- 采用大容量110cc坩堝，可實現(xiàn)大量成膜。
- 由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn)，二次電子對成膜體的影響非常小。
- 即使是升華材料，掃描X軸和Y軸上的束斑也可以消除點蝕現(xiàn)象并可以順利蒸發(fā)。
- 電子束270°偏轉(zhuǎn)，燈絲不會從蒸發(fā)材料暴露，因此壽命很長。
- 發(fā)射器組件易于拆開，更換燈絲，絕緣體等非常容易。
規(guī)格
| 加速電壓 | -4kV～-10kV | |
| 束電流 | 1.6Amax (at-10kV) | |
| *大入力 | 16kW (-10kV, 1.6A) | |
| X軸偏轉(zhuǎn)線圈 |
0.4～3.5A -18VDCmax 2.8Ω（20℃） |
|
| Y軸偏轉(zhuǎn)線圈 |
0～±1.2A ±12VDCmax 0.9Ω（20℃）2個 |
|
| 燈絲 | 0～6VAC 40Amax | |
| 坩堝 | 容量 | 110cc |
| 尺寸 | 75Φ×59Φ×32H | |
| 電子束偏轉(zhuǎn)角度 | 270° | |
| 有效蒸發(fā)角度 | 120°以上 | |
| 蒸發(fā)速度 | 鋁16kW時 | 4.5μm/min以上（爐膛上250H） |
| 冷卻水量 | 19L/min以上、0.7MPa（*大圧力） | |
| 水溫 | 15℃～25℃ | |
| 外形尺寸 | 136W×90H×220D | |
| 重量 | 約15kg | |
| 適用電源 | HPS-1000N, HPS-1600F | |
| 備考 |
1. 可以連接送絲機。 2. 建議使用電阻率為5kΩ·cm或更高的冷卻水 |
|
產(chǎn)品留言
標(biāo)題
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