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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

  • 產(chǎn)品型號：EGL-35M
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
EGL-35M型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實際成果，為提高性能和可靠性而開發(fā)。
詳情介紹：
EGL-35M型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實際成果，為提高性能和可靠性而開發(fā)。
EGL-35M有2種坩堝容量40cc（*大輸入功率：10kW）和10cc（*大輸入功率：6kW）（在標準規(guī)格的情況下），能夠進行任意多層膜成膜。

特點

  • 采用容量40cc和10cc的4點切換坩堝可實現(xiàn)多層成膜。
  • 由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn)，二次電子對成膜體的影響非常小。
  • 即使是升華材料，掃描X軸和Y軸上的束斑也可以消除點蝕現(xiàn)象并可以順利蒸發(fā)。
  • 電子束270°偏轉(zhuǎn)，燈絲不會從蒸發(fā)材料暴露，因此壽命很長。
  • 發(fā)射器組件易于拆開，更換燈絲，絕緣體等非常容易。
  • 坩堝位置檢測機構(gòu)可以作為選項安裝，坩堝旋轉(zhuǎn)可以自動化。

規(guī)格

加速電壓 -4kV～-10kV DC
發(fā)射電流（MAX） 1.0A MAX (at-10kV)
*大輸入功率 10kW (at 40cc坩堝)、6kW (at 10cc坩堝)
X軸偏轉(zhuǎn)線圈 -0.4A～-3.5A MAX -18V DC
約2.6Ω（at 20℃）
Y軸偏轉(zhuǎn)線圈 0A～±1.2A MAX ±12V DC
約5.8Ω（at 20℃）
燈絲 0V～12V AC MAX 40A
坩堝 數(shù) 4
容量 40cc ×2、10cc×2 （標準規(guī)格時）
尺寸 50Φ×41Φ×25H、32Φ×24Φ×15H
電子束偏轉(zhuǎn)角度 270°
有效蒸發(fā)角度 90°以上
蒸發(fā)速度 1.6μm/min以上（A| 8kW、坩堝垂直上方250H）
冷卻水量 坩堝 10L/min or more 0.7Mpa (max)
線圈 2L/min or more 0.7Mpa (max)
水溫 15℃～25℃
爐膛位置顯示機制 接點數(shù)：NO 接點 4式
（可選） 容量：MAX 1A、50V DC
外形尺寸 170W×240D×156H 凸起部分除外
重量 約18kg
適用電源 HPS-510S, HPS-1000N, HPS-1600F
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