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EGL-35型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實(shí)際成果，為提高性能和可靠性而開(kāi)發(fā)。擁有*大輸入功率10kW的坩堝。由于坩堝容量大，每個(gè)40cc，因此可以進(jìn)行厚膜的高速蒸發(fā)。

詳情介紹：

EGL-35型EB槍是基于ULVAC多年的技術(shù)積蓄和實(shí)際成果，為提高性能和可靠性而開(kāi)發(fā)。
擁有*大輸入功率10kW的坩堝。
由于坩堝容量大，每個(gè)40cc，因此可以進(jìn)行厚膜的高速蒸發(fā)。

特點(diǎn)

采用40cc大容量鍋爐，可實(shí)現(xiàn)大體積成膜。
由于電子束被電磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn)，二次電子對(duì)成膜體的影響非常小。
即使是升華材料，掃描X軸和Y軸上的束斑也可以消除點(diǎn)蝕現(xiàn)象并可以順利蒸發(fā)。（日本**831485號(hào).843447號(hào)）
電子束270°偏轉(zhuǎn)，燈絲不會(huì)從蒸發(fā)材料暴露，因此壽命很長(zhǎng)。
發(fā)射器組件易于拆開(kāi)，更換燈絲，絕緣體等非常容易。

加速電壓		-4kV～-10kV DC
電子束電流		MAX 1.0A（加速電壓-10kV時(shí)）
*大輸入功率		10kW（-10kV, 1.0A）
X軸偏轉(zhuǎn)線圈		0.4～3.5A MAX-18V DC 2.8Ω（室溫20℃內(nèi)）
Y軸偏轉(zhuǎn)線圈		0～±2A MAX±12VDCmax 6Ω×2（室溫20℃內(nèi)）
燈絲		0～6V AC MAX40A
坩堝	容量	40cc
	尺寸	50Φ×41Φ×25H
電子束偏向角度		270°
有蒸發(fā)角度		120°以上
蒸發(fā)速度		1.8μm/min以上（A110kW、爐膛上250H）
冷卻水量		10L/min以上（*大輸出0.7MPa）
水溫		15～25℃
外形尺寸		110H×79W×206D
重量		10kg
適用電源		HPS-1000N, HPS-1600F
參考		1. 可以連接送絲機(jī) 2. 建議使用電阻率為5kΩ·cm或更高的冷卻水。

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