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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科RF電源選配件

  • 產(chǎn)品型號：EXN2T-40A
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
EXN系列是陰極切換器，可用于將電源供應(yīng)切換到多個直流濺射電極和射頻濺射電極，或?qū)⒍鄠€直流電源或射頻電源的輸出切換到一個電極。
詳情介紹：
EXN系列是陰極切換器，可用于將電源供應(yīng)切換到多個直流濺射電極和射頻濺射電極，或?qū)⒍鄠€直流電源或射頻電源的輸出切換到一個電極。

特點

  • 可以切換匹配器的輸出。
  • 不需要為每個陰極單獨安裝匹配器，大幅降低了設(shè)備成本。
  • 有兩種類型的切換方式：手動和電機驅(qū)動。 此外，我們還準(zhǔn)備了對應(yīng)更高功率的水冷系統(tǒng)。
  • 還可以作為DC電源，DC電源輸出切換器使用。
  • 只有一個匹配器，不能超出匹配范圍的負(fù)荷下使用。

規(guī)格

規(guī)格 水冷目標(biāo)更換器　規(guī)格
EXN2T-70W EXN3T-70W EXN4T-70W EXN2M-70W EXN3M-70W EXN4M-70W
切換接點數(shù) 2個 3個 4個 2個 3個 4個
熱開關(guān) 不可
使用頻率 DC-13.56MHz
額定傳導(dǎo)電流 70A
耐電壓 接點間　AC 10kV 1分（50/60Hz）
接點-GND間　AC 10kV 1分（50/60Hz）
切換方式 手動式 電動式
電機額定功率 DC24V
電機額定電流 0.22A (0.75Amax)
接點位置輸出 微動開關(guān)（接點容量 0.25A 24VDC）
冷卻方式 水冷
冷卻流量 5L/min
耐圧 0.5MPa
適配 3/8inch N2管接頭
高頻連接用端子 O4mm螺栓
安裝現(xiàn)場溫度 5℃～35℃
安裝現(xiàn)場濕度 30%～80% (不結(jié)露)
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