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- DNL**燈
- ORIHARA折原應力儀
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產品詳情
簡單介紹：
RFS-N系列是輸出頻率13.56MHz、功率0.5kW/1/kW/3kW/5kW的等離子工藝用RF電源。
詳情介紹：
RFS-N系列是輸出頻率13.56MHz、功率0.5kW/1/kW/3kW/5kW的等離子工藝用RF電源。
裝載高效率RF放大器實現了小型·輕量化。
另外，RF電源內置自動匹配控制器功能，僅從主機單元就可以對RF電源進行電力控制及匹配系統(tǒng)控制。
特點
-
高效率
配有高功率轉換效率的RF電路以節(jié)省能量。 -
快速自動匹配
快速算法實現快速自動匹配。 -
RF電源內置自動匹配功能
只有主機才能進行匹配系統(tǒng)控制。
可通過內置控制器手動控制RF電源和匹配器 -
靈活的控制
外部模擬控制，可實現串聯(lián)通信控制。 -
可靠性高
對作為設備制造商所積累的設計經驗。
用途
- 濺射設備
- CVD設備
- 等離子蝕刻設備
- RF離子源
- 中和劑
規(guī)格
[發(fā)電機]
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