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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科雙陰極用雙極元件

  • 產(chǎn)品型號：MFU-20K
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
MFU-20K是通過與ULVAC制DC電源組合，將直流輸出轉(zhuǎn)換為雙極脈沖輸出的單元。 以低成本實(shí)現(xiàn)良率和產(chǎn)量的提高。
詳情介紹：
MFU-20K是通過與ULVAC制DC電源組合，將直流輸出轉(zhuǎn)換為雙極脈沖輸出的單元。
以低成本實(shí)現(xiàn)良率和產(chǎn)量的提高。

特點(diǎn)

  • 頻率范圍寬
    可以在10kHz～100kHz的范圍內(nèi) ※1
  • 主/從連接允許大容量
    *多可以進(jìn)行6臺并行操作
  • 可以DC輸出
    輸入DC電源的輸出可以照原樣施加到陰極 ※2

用途

  • FPD用反應(yīng)濺射設(shè)備
  • 工業(yè)涂層用反應(yīng)濺射設(shè)備
  • 彩色TFT用反應(yīng)濺射設(shè)備
  • 一般濺射設(shè)備

規(guī)格

型 MFU-20K型
控制電源輸入 額定輸入電壓 AC100V/AC240V
輸入電壓波動范圍 AC90 至 264V
相位、頻率 1 相 50/60Hz
輸入容量 400VA的
輸入規(guī)格 工作電壓 0 至 -1000V※1
空載電壓 -1200V
工作電流 50安培
輸出規(guī)格 *大額定電壓 1000V（有效值）※1
空載電壓 DC-1200V
*大額定電流 50安培
振蕩頻率 10k 至 100kHz※2
占空比 10 至 90%※3
冷卻方式 強(qiáng)制風(fēng)冷
尺寸（W×D×H） 483mm×630mm×177mm（不含突起部分）
重量 37公斤
適用標(biāo)準(zhǔn) CE/SEMI F47/RoHS

環(huán)境工作溫度 5°C ~ 40°C（無凝露）
操作環(huán)境：避免陽光直射、高溫、灰塵、振動，且無腐蝕性氣體。
※1：電壓超過800V時(shí)頻率受限制。
※2：輸出在頻率超過60kHz時(shí)受到限制。
※3：占空比根據(jù)振蕩頻率而受限制。

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